有机波谱分析第八章X射线光电子能谱.ppt

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(3)在催化研究中的应用 MoO3/Al2O3催化剂的XPS谱 酚醛树脂和氯化橡胶粘合剂 酚醛树脂和氯化橡胶粘合剂 应用于: 粘合剂作用机理; 材料吸附、改性、表面工程; LB膜 元素及化合物表面分布(覆盖) 聚酯覆膜纸张 深度分析 薄膜厚度测定 表面元素分布或图形化表征 XPS仪器测试过程 样品准备 固体:块状、薄膜、纤维、粉末 放入仪器 进样室 抽真空 2~10+hrs 进入分析室 测试 数据处理 挥发性样品 磁性样品 放射性样品 导出结果 单色化原理 补充: XPS仪器新进展 1. 单色化XPS ? ? ? 反射面法线 布拉格方程 (Bragg equation) 原子面对X射线的反射并不是任意的,只有当?、?、d三者之间满足布拉格方程时才能发生反射。 单色化XPS优点 X射线的宽度从0.9eV降低到0.25eV,单色化后的XPS的分辨率高出很多,达到0.47eV。能得到更多化合态信息 卫星峰、鬼峰消失 样品受到X射线伤害较少。 2. 小束斑XPS Torroidal Crystal Anode Electron Gun 原理 X射线在样品上的光斑大小与电子打在金属(阳极)上的光斑大小近似。调节电子斑大小即可调节X射线光斑大小。 聚焦电子束,调节电子斑尺寸。 特点 X射线光斑尺寸20μm~500 μm可调 单色化X射线,XPS分辨率达到0.47eV 样品受到X射线伤害较少。 应用 特定区域分析 线分布或面分布 线扫描 3. 成像 XPS 原理 用平行成像法进行成像XPS 分析时,光电子进入多通道板,经过放大后变成电子脉冲信号,后者打在荧光板上产生光信号,并存储于相应的像元中。 Si SiO2 8.4 XPS的应用 (1)元素定性分析 在能谱图中出现特征谱线.我们可以根据这些谱峰的位置(结合能)来鉴定元素的种类 。 8.4 XPS的应用 元素化学态分析 对同一元 素,当化 学环境不 同时,谱 峰出现化 学位移   X射线光电子能谱谱线强度反映原子的含量或相对浓度。测定谱线强度便可进行定量分析。 X射线光电子能谱可分析除氢、氦以外的所有元素,测量深度为几埃到几十埃,对多组分样品,元素的检测限为0.1%(原子分数)。 氧化态增加   化学位移增加 例2 BeF2和BeO中的Be具有相同的氧化数(+2),   电负性F>O, 所以Be在BeF2中比在BeO中具有更高的氧化态. (2) 定量分析 物理模型计算法 影响因素多,误差大, 运用不多 标准样品法 正确度较好,标样难制 备,应用有局限性 灵敏度因子法 误差较大,简便快速, 应用广泛 缺点: ⑴定量误差大,是半定量分析 ⑵一般是相对含量 ⑶受样品表面状态影响大 定量分析——灵敏度因子法 对于表面均匀的样品,特定谱峰中光电子计数为: —样品单位体积中所含被测元素的原子数(原子数/cm3) — X射线通量(光子数/cm2?秒) —测定的原子轨道光电离截面(cm2) —和入射光子与检测光电子之间夹角有关的效率因子 —光电离过程中产生所测定光电子能量的光电子数效率(光电子数/光子) —样品中光电子平均自由程(?) —采样面积(cm2) —检测从样品中发射的光电子的效率 所以   —元素灵敏度因子,    也叫原子灵敏度因子 各元素的相对含量 进一步可得 i----样品所含的某种元素 x----待测元素 Cx----X元素在样品中所占的原子分数 合成氨催化剂的Fe2P3/2 芯能级的结合能随还原程度 a?f 而变化。 表面(界面)元素及化合物测定 C1s O1s Fe2p 金属铁 Fe3O4 涂层 涂层 表面元素及化合物测定 应用于: 材料改性 表面工程 腐蚀与防护 涂层 催化剂组成 微电子和半导体材料表面成份和污染 表面元素化学态测定 化学态不仅仅是价态哦 应用于: 催化剂活性成份、组分间相互作用机理、失效机理; 表面反应,表面改性; 表面工程 腐蚀与防护 表面修饰和改性 XPS survey scan spectra: a. pristine MWCNTs, b. oxidized MWCNTs, c. DEA-functionalized MWCNTs d, purified-MWCNTs treated by DEA CNT表面修饰 C1s scan spectra: a

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