PECVD制备大角度减反膜-光学程专业毕业论文.docx

3)The 3)The design feasibility of anti-reflection films at the incident angle from 0 to 800 and the waveband ranging from 400nm to 700nm was explored by combining with the method of Needle，Random Optimization and Inhomogeneous Refinement,which the average reflectance is less than 5％．The decisive factor that affects the optical properties of wide—incident-angle anti—reflection films is low refractive index material based on exploration．Only when low refractive index material is available and its value is 1．05，the anti-reflection films at the incident angle from 0 to 800 and the waveband ranging from 400nm to 700hm that the average reflectance is less than 5％could be designed． Key Words：PECVD；wide-angle；broadband antireflection coatings；low refractive index 万方数据 目 目 录 1绪论 ．1 1．1研究背景及意义 l 1．2大角度减反膜国内外研究现状 ．1 1．2．1亚波长型大角度减反膜 一2 1．2．2多孔型大角度减反膜 一3 1．2．3均质型大角度减反射膜 一3 1．3 PECVD技术研究现状 ．4 1．4研究内容和预期目标 ．6 1．4．1课题研究的主要内容和重点 一6 1．4．2预期达到的目标 一6 2课题方案和可行性论证 7 2．1研究方案及技术路线 ．7 2．2方案可行性论证 ．．8 2．2．1膜系设计的可行性论证 一8 2．2．2 PECVD制备的可行性论证 一10 2．2．3测试的可行性论证 12 3光学薄膜特性理论 一14 3．1光在均匀介质中的传播规律 14 3．2渐变折射率薄膜的波动形式 15 4 400rim-700rim波段O一50。大角度减反膜膜系设计 18 4．1 Needle设计0—50。大角度减反膜 ．18 4．1．1初始结构的选取 18 4．1．2膜系的优化 20 4．2傅里叶变换法设计大角度减反膜 23 4．2．1傅里叶合成法原理 23 4．2．2 Q函数和位相函数的选取 24 4．2．3膜系结构的优化 ．25 4．3非均匀优化设计 25 4．4大角度减反膜膜系比较 27 4．4．1膜系允差值的分析计算 27 4．4．2膜系结构及减反效果比较 29 5 0-500大角度减反膜制备 ．30 万方数据 5．1单层膜工艺实验 5．1单层膜工艺实验 30 5．1．1低折射率薄膜工艺稳定性研究 30 5．1．2 PECVD制备1．49折射率薄膜 ．32 5．1．3 PECVD制备1．68折射率薄膜 ．32 5．1．4 PECVD制备1．82折射率薄膜 一33 5．2大角度减反膜镀制 34 5．3大角度减反膜的测试和分析 36 5．3．1误差分析 37 6 400nm．700rim波段0—800大角度减反膜系设计探索 39 6．1 Needle优化 ．39 6．1．1方案1的探索设计 41 6．2．2方案2的探索设计 42 6．2．3方案4的探索设计 ．43 6．2 Random OptimiZation(随机优化) 44 6．2．1随机优化时间的探索 46 6．2．2随机优化参数的探索 47 6．2．3高低折射率的差值D 49 6．2．4低折射率L． ．50 6．2．5随机优化设计实例 51 6．3非均匀优化 52 6．3．1非均匀优化参数的设定 53 6．3．2高低折射率差值D 53 6．3．3最低折射率L． 54 6．3．4非均匀优化设计实例 55 6．4 Rugate优化 ．57 6．4．1Rugate优化设计实例 ．59 7结论 6l 7．1结论 ．6l 7．2展望 ．6l 参考文献 ．63 攻读硕士学位期间发表的论文 ．66 致谢 。67 学位论文知识产权声明 一68 学位论文独创性声明 ．69 万方数据 1绪论1绪论 1绪论 1绪论