GaN基LEDZnO纳米线阵列的制备和特性研究-微电子学与固体电子学专业毕业论文.docx

万方数据 万方数据 山东大学硕士学位论文3．4本章小结 山东大学硕士学位论文 3．4本章小结 26 第四章GaN基LED内量子效率的研究 ．27 4．1内量子效率的定义 27 4．2内量子效率的测量方法 27 4．3 PL内量子效率的测量 28 4．3．1 PL内量子效率传统测量方法 ．28 4．3．2样品的结构参数 ．．28 4．3．3实验过程 29 4．3．4 PL光谱的形状、峰位、半高宽以及发光效率的温度依赖性 ．29 4．3．5 PL光谱积分强度，PL发光效率的功率依赖性 3 l 4．3．6 PL内量子效率测量新方案 ．33 4．4 EL内量子效率的测定 33 4．5本章小结 34 第五章znO的基本性质 35 5．1 Z110的生长 35 5．2 ZnO的晶体结构 ．35 5．3 ZnO的物理化学性质 36 5．4 ZnO的光学特性 38 5．4．1金属氧化物晶体的缺陷类型 ．．38 5．4．2 ZnO中的缺陷发光 一39 5．5 Zn0的电学特性 41 5．6本章小结 42 第六章ZnO纳米材料制备 43 6．1 CVD法生长ZnO 43 6．1．1 ZnO纳米线阵列基本生长条件 ～43 6．1-2衬底的清洗 44 6．1．3 znO纳米线阵列的生长过程 ．．44 6．1．4 ZnO纳米线的形貌表征 ．．45 6．2种子层种类对Zno阵列表面形貌的影响 ．．47 万方数据 万方数据 山东大学硕士学位论文6．2．1醋酸锌溶液制备种子层 山东大学硕士学位论文 6．2．1醋酸锌溶液制备种子层 一47 6．2．2利用磁控溅射系统生长种子层 一47 6．2-3种子层生长方法对ZnO表面形貌的影响 48 613反应源到衬底之间的距离对Zno阵列表面形貌的影响 一49 6．4种子层厚度znO纳米线表面形貌的影响 一51 6．5本章小结 ．55 第七章结论 57 参考文献 59 致谢 ．65 攻读硕士期间发表的论文 一67 山东大学硕士学位论文 IV 山东大学硕士学位论文CoNTENTS 山东大学硕士学位论文 CoNTENTS CONTENTS(in Chinese) 1 CoNTENTS ·V ABSTRACT(m Chinese) l ABSTRACT ．．III LiSt of SⅥnbols -V Chap忙r 1 Introduction 1 1．1 111e history ofh哪an lighting 1 1．2 The llistorv and cumnt situalion of s锄iconductor materials ．．2 1．3 Synopsis ofdissertation 4 Ch印ter 2 1k growtll process，equipment锄d characterization memods ·7 2．1 ChemicaJ v印or deposition 7 2．1．1 Principle ofCVD me协od 一7 2．1．2 Equipment ofCVD method 7 2．2 Magnetron sp嘣ering 9 2．2．1 Principle ofmagnetron sputtering ··9 2．2．2 Equipment ofma印e仃0n Spu吮ring “9 2．3 The spe咖m detecting system lO 2．3．1 Excitation system 一11 2．3．2 Spec们photometric syst锄 13 2．3．3 Re衔geration system ·14 2．3．4 Detection system 14 5 2．3．5“911t pa山building 1 2．4 ConclusiOns ．．17 Cha机er 3‘111e ch撇ristics ofGaN ．．19 3．1 Tlle groⅢh a11d pr印a州on ofGaN 20 3．2 TIle physical aIld chemical pmperties of G烈 22 3．3 The photoele耐c characteriStics of Ga：N ．．23 山东大学硕士学位论文3．4 山东大学硕士学位论文 3．4 Conclusions ．．26 Chapter 4 1k咖dy oftlle i触釉al quann】IIl e伍ciency on GaN b签ed LED ．27 4．1 The defiIlition ofintemal qu锄tulTl e伍ciency 27 4．2 Memod for meaSuring tlle PL intemal q1塌ntllm e伍ciency 27 4．3 MeaSuremen