Mn掺杂Ga2O3薄膜的制备 结构和光学能分析.docx

郑 州 郑 州 大 学 硕 士 论 文 A b s tra e t A b s tf a C t G alliu m o x id e (G aZO 3) 15 a w id e b an d g aP sem ico n d u eto r w ith th e o P tieal b an d g aP b e tw e e n 4 .2 a n d 4 .9 e V M u e h a tte n tio n h a s lo n g b e e n a ttra e te d b y its e x e e lle n t c o n d u e tiv e a n d lu m in e sc e n e e P r o P e r tie s . G a lliu m o x id e 15 知 o w n to h a v e f iv e P o lyTn o rph s in elu d in g a 一G 助0 3， p一G 勋0 3， Y一G 匆0 3， 。一G 处0 3 an d 6一G aZO 3. T h e m on oelin ie p一G aZO : 15 th e m o st stab le strueture at ro om tem P erature. It ean b e w id ely ap p lied to d ilu ted m agn etie sem ieo n du cto rs (D M S ) ，p h o sp h o r m aterials，g as sen so rs， a n tire f le c tiv e e o a tin g s o f G a A s so la r c e lls ，d e eP u ltro v io le t tra n sP a re n t e o n d u e tiv e o x id e s ， a m m o n ia tio n f o r P re P a rin g h ig h q u a lity G a N e P ita x ia l th in f ilm s ，e te . A s o n e o f th e w id e st b a n d g a P tra n sP a re n t e o n d u e tiv e se m ie o n d u e to rs，it h a s a tra n sP a re n e y o f m o re th a n 8 0 % f ro m v isib le to u ltra v io le t re g io n . T h e re f ore ，it w ill b e P o te n tia lly u se d a s th e e le e tr od e o f u ltra v io le t P h o to e le e tr ie d e v ie e s an d u lt ra v io le t d e te c tin g m a te ria ls . T h e o re tic a l c a le u la tio n s in d ic a te th a t M n 一d o P in g to G a ZO 3 e a n b r in g th e g e n e ra tio n o f e x tra e n e rg y lev e l a b o V e th e v a le n e e b a n d o f G a ZO 3. T h u s，th e b a n d g a P o f M ll一d o p e d G a ZO 3 f ilm 15 n a r ro w e d . T h e b a n d g a P c a n b e m o d u la te d a e e o rd in g to th e q u a n titie s o f M n d o P a n t. T h