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反射率测量XRR
薄膜材料的X射线反射率测量介绍;2;3;可获得的样品信息;;20.12.2011;7;反射率和粗糙度的关系;9;10;粗糙度降低了反射光线的强度
XRR 对粗糙度是非常敏感的
粗糙度造成X-射线的漫散射
样品的界面和表面粗糙度要不大于3-5 nm.;反射率和膜层厚度的关系;13;14;15;16;17;18;19;20;21;22;23;24;25;26;27;28;29;30;探测器端的分辨率选择 Pathfinder;功能超级强大的探测器光路;33;34;35;36;37;20.12.2011;39;拟合计算过程 ;41;42;43;44
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