镀膜后热处理对CrAlSiN薄膜微结构与机械性质之影响-YOKEnet.PDF

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2018-12-22 发布于天津
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膜後理薄膜微械性之影何友志沈立景明道大材料科工程系彰化埤文化路科摘要目前薄膜已是可商化之硬薄膜已泛用於刀具上本研究主要目的利用弧沉系以矽合金靶和靶硬薄膜接再行膜後理之影探理後其微械性切削行之研究在理中由於氮於保性所以薄膜於氮的氛下分行一小持之中低理於理後再行各分析比由研究果示薄膜低理後可以提升薄膜多性能其中又以理得到最佳之特性薄膜之最高硬度度升至之理相的造成硬度下降切削亦薄膜在理得到最佳之耐磨性本研究之薄膜多膜之即膜交而成用低理可使材料到回之作用消除部分差排缺陷但仍到高硬度之作用字弧沉氮化矽薄膜

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