硅烷燃烧塔.pptVIP

 * * 硅烷燃烧塔 昆士通环保设备昆山有限公司 KUNSTOFF ENVIRONMENT PROTECTION(KUNSHAN)CO.,LTD 一、一般说明 昆士通环保设备有限公司多年来从事设计制造腐蚀性废气处理设备（包括：酸碱废气洗涤塔、 有机废气活性炭吸附塔、筛板塔、文氏洗涤器等设备）。近年来，为满足国内太阳能、光能 行业，半导体行业及CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气体净化，针对硅烷废气专门研究， 研发出kunstoff型不锈钢硅烷燃烧塔LP-SCR. 二、硅烷燃烧塔产品说明： ⑴、硅烷的性质 ： 硅烷也称矽烷，是化学分子式为SiH4的一种化合物，该气体无色无臭，密 度1.44克/升，熔点-185℃，沸点-111.8℃，不溶于水。在室温下硅烷是一种易燃的气体， 在空气中无需加火源，硅烷就可以自燃，生成二氧化硅和水，并放出大量的热量，可被一般氧 化剂氧化。 ⑵、燃烧塔原理： 本燃烧塔采用燃烧洗涤法净化硅烷气体，它分别有一级燃烧塔和二级燃烧洗涤 塔组成，根据硅烷(矽烷)在空气中自燃的特性，特在燃烧塔中设置密闭燃烧室，为保证硅烷在燃 烧室内充分燃烧，必须保证燃烧塔内负压，控制在-150Pa左右。 ⑶适应范围： a.单晶硅、多晶硅行业生产中产生的硅烷尾气净化 。 b.太阳能、光能行业。 c.半导体行业 d. CVD化学气体沉积工艺中产生的硅烷气 体。 设计考虑因素： 1、本体： A、材质：耐高温不锈钢材料 B、本体结构设计符合完整的基础支撑，顶部强度至少可以支撑一个人的重量。 C、燃烧桶、填料室、喷淋系统、脱液系统及检修视窗等，功能性强，操作方便。 2、燃烧桶入口及燃烧塔出口设计： 燃烧桶入口及燃烧塔出口必须防止气流空蚀现象，如果设计不良，硅烷废气容易产生爆炸危险。 本公司研究推出的硅烷燃烧塔，利用硅烷于空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧桶内与空气 充分接触燃烧，设备进口上装用单向阀能防止燃烧室内的气体倒流进入生产设备，提高系统的 安全性能。设备运行成本低，安全可靠，可在生产设备不停止状态下对硅烷燃烧塔进行检修。 3、循环水槽： 燃烧塔最底部连接一个循环水泵，提供燃烧塔喷淋系统所需之循环水量，设计上着重于经济型， 操作维修方便及耐腐蚀性。 4、洗涤液及分布系统： A、洗涤液可循环使用，也可设计分批操作或连续式自动操作，当水箱中和循环液清洁度达不 到使用要求时，通过水箱底部的排污口将水箱中和循环液排出，由进水口注入新的中和循环液， 以保持水箱中的中和循环液的清洁度。以便在吸收污染物后尚能维持其效率。 B、洗涤液分布时采用低压较大水量之喷嘴，发挥之最大均匀效率，达到最高之洗涤效率。 5、新风补气口 燃烧室有通向塔体外的新风补气口，新风补气口装有单向阀。如果压缩空气中断时，依靠内部 负压由新风补气口向燃烧室进行补气，当燃烧室压力大于外界压力时，加装的单向阀自动关闭， 防止燃烧室的气体从新风补气口排出。 如何选用硅烷燃烧塔 1、确定废气污染源之成分，温度与湿度。 2、确定欲处理之效率 3、确定处理风量选定型号 4、型号选定后，人孔视窗，各管路可依据现场位置调整。 标准配置 在硅烷燃烧塔外壳及内部组件的整体会影响安装，操作及维护上的成本，本设备标准配备如下： 1、燃烧桶 2、硅烷燃烧塔内部结构 3、各种管配件：给水，排污，溢流等。 4、视窗、人孔：方便维修。清洗填充材的取出与装入，或检查喷雾系统状况等。 5、喷淋系统 6、填充材及填充材支撑 7、循环水槽 8、循环泵浦 9、补气口 10、入口法兰 11、出口法兰 选用配置 1、气体流量计及气量调节阀 2、液体流量计及流量调节阀 3、水位控制 4、备用泵浦 其他要求 昆士通环保设备（昆山）有限公司所设计标准化之燃烧设备符合大部分客户要求，若有特殊 需要我们也非常乐意提供技术性服务及为您提供符合制程上的需求。 PID流程图 设备尺寸与风量 3000-4000 LP-SCR-3 DN65 8-12根 2800*2000*2500 1500-3000 LP-SCR-2 4500-5000 LP-SCR-4 DN65 1-6根 2000*1600*2500 600-1200 LP-SCR-1 进气管根 外观尺寸(mm) 处理风量(M3/H) 型号 不锈钢硅烷燃烧塔规格性能表 LP-4 LP-2 LP-1 型号 不锈钢燃烧桶规格性能表 经营项目 鸿中企业股份有限公司 昆士通环保设备（昆山）有限公司 KUNSTOFF ENVIRONMENT PROTECTION(KUNSHAN)CO.,LTD 昆山经济技术开发区洪湖路300号 TEL:0512 FAX:0512-5770800