电子工业静电防护指南.pdf

电子工业静电防护指南 信息产业部防静电产品质检中心 前 言 随着我国IT业的突飞猛进，特别是国防电子信息化和微电子的迅 速发展，静电对电子和相关行业的不良影响日益显著,对静电的防护 必须要予以足够重视. 该讲义共分7章：第1章为静电基本概念，主要介绍静电的一 些基础知识；第2章为电子工业中的静电问题，介绍了静电对电子工 业的危害及存在的静电源、静电敏感器件分级标准；第3章为静电防 护原理，阐述了电子工业静电防护的基本原理和方法；第4章为防静 电工作区 （EPA）的构成和技术要求，重点提出防静电工作构成的技 术设计要求和实际工程应对方案；第5章为防静电工作区的防静电工 艺与管理，重点介绍了防静电工艺要求、技术质量管理与培训方面要 求；第6章为防静电工作区系统的检验，介绍了静电检测的基本知识 和如何验收一个防静电工作区及对其实效检验；第7章为静电放电模 型与器件、设备ESD敏感度测试，介绍了一些广泛应用的静电放电模 型以及对器件、设备的ESD基本实验方法。 目 录 第1章 静电基本概念 第2章 电子工业中的静电问题 第3章 静电防护原理 第4章 防静电工作区 （EPA）的构成和技术要求 第5章 EPA的防静电工艺与质量管理 第6章 EPA防静电系统的检验 第7章 静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试 附录D 《静电放电控制程序》前言与静电放电协会 标准 第1章 静电基本概念 第1章 静电基本概念 1.1 静电的定义与不同类型的电 1.1.1 静电具有的特点 ※1.1.2 不同类型的电 有以下3种类型 ： （1）处于稳定状态不产生流动的电荷称为静电 （2）在导体中，电荷随着外施恒定不变的 电场，做定向运动形成的电流称为直流电。 （3）在导体中，电荷随着外施周期性方向 变化的电场，做周期性方向变化的运动形 成的电流称为交流电。 1.1.3 几种常见的静电物理量纲及换算 （1）静电电量： 表示电荷多少的物理量称为电量 -3 -6 1mC = 1´10 C 1mC = 1´10 C 1nC = 1´10-9 C 1pC = 10-12 C （2）电阻： 表示物体导电能力的物理量称为电阻 1W = 1´10-3 kW 1W = 1´10-6 MW 1W = 1´10-9 GW （3 ）电容： 物体所带电量与该物体的电位的比值称为电容 1pF = 1´10-6 mF 1pF = 1´10-12 F （4 ）静电电位： 电场力对单位正电荷从某点移动到无限远处所 做的功称为静电电位 1V = 1´10-3 kV （5 ）静电的放电能量： 静电放电时所具有的能量 1mJ = 1´10-3 mJ = 1´10-6 J 1.2 静电的产生 1.2.1 固体起电 1.2.1.1 固体接触摩擦分离起电 图1.1 接触摩擦起电的基本过程 -12 -10 -3 2 C=e e / d =1´8.85´10 / 25´10 =3.54´10 F/m 0 （1 ）导电金属之间的摩擦 （2 ）导体和绝缘体、两绝缘体之间的摩擦 图1.2 固体的接触带电 1.2.1.2 固体的带电形式 （1）断裂带电 （2 ）压电效应起电 （3 ）热电效应起电