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Company Confidential BOE HF Copyright ? 2011 * BOEHF Copyright ? 2010 2012年1月4日 PI设备PM相关介绍 一、镜头的ZOOM马达注油 二、换灯 三、设备的开关机 目录 四、设备整体清洁 一、给镜头上的ZOOM马达导轨注油 1、先将Stage移到左边,露出Stage下方的导轨和线性马达。 7个扫描镜头 线性马达(具有磁性),其对面是光栅 防止stage异常滑出导轨装置 2、拆下盖子。 3、用油抢将油注入导轨上。 注油位置 4、左右旋转几下,使润滑油均匀分布到导轨上。 5、通过调节小轮底座与ZOOM马达之间的距离,可调节皮带的松紧。 一般情况下,每次给ZOOM马达注油时都需检查皮带的松紧,皮带不可过松,也不能过紧,要保持适当的张紧度。 左右旋转几下 1 2 1 6、合上盖子,完成注油。 几点注意事项: 1、stage上的位置sensor,镜头上的sensor等各种sensor最好都别触碰,以免使sensor失灵; 2、stage上的线性马达具有强磁性,各种小螺丝要小心存放,避免被线性马达吸入其中而使线性马达损坏(如果有小的金属被吸入,一定要想办法取出来); 3、人在设备内部时,最好将设备显示器关闭,防止他人操作,而发生人身伤害。 二、换灯 1、先将如左图上的POWER开关关闭,再将如右图的POWER开关关闭。 2、等2分钟左右,待内部风扇停止,拆下右图中两个光源发出装置上部的盖子。 3、等30分钟待灯泡冷却下来后,进行灯泡更换。 注意事项: 1、刚开始灯泡温度较高,注意有烫伤危险; 2、换完灯泡后要将灯泡的Life清零(关闭主控制器的Power,再按白色的MODE按键切换到LAMP LIFE TIME,最后同时按下UP与DOWN即可清零); 3、换完后要将镜头处射下的光调为白色(通过多次开关主控制器的Power ),否则设备不能正常测试。 先关闭 后关闭 灯泡在盖子下面 三、设备的开关机 有时需对设备断电停机,要按一定的顺序关闭电源: 1、先关闭设备的电脑主机; 2、再关闭设备各个控制模块的电源; 3、最后关闭设备的总电源。 开机过程与上述顺序相反。 控制模块开关 设备总开关 四、设备整体清洁 1、设备的Stage上面一般不用无尘布清洁,容易将pin碰偏;用气枪由中间向边缘吹即可。 2、 Stage下面的导轨基座可用无尘布沾酒精擦拭,而基座上的导轨以及各种导轨要用干的无尘布擦拭。 3、设备PM时,能擦得到的地方尽量都擦拭一下,以减少设备内部PT。 注意事项: 1、在擦拭时要注意设备内部的各个sensor,避免触碰、损坏; 2、各种镜头不能擦拭; 3、设备内部空间较小,作业时一定要小心谨慎。 Company Confidential BOE HF Copyright ? 2011 * BOEHF Copyright ? 2010

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