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静电放电（ESD）及防护 刘清松 深圳市亨达洋静电技术有限公司 目录 一．??术语及定义 二．?? 静电的产生 1. 静电现象 2. 静电的产生主要有三种方式： 1.摩擦; 2.感应; 3.传导 三．??静电对电子工业的影响 1. 静电对电子元件的影响 2. 半导体器件静电击穿及其规律 四. ESD三种型式 1. 人体型式 2. 微电子器件带电型式 3. 场感应型式 五. 静电防护: 1.? 接地 2.?屏蔽 3.?中和 六. 防静电产品 防静电的一般工艺规程要求 术语及定义 1.静电ELECTROSTATIC DISCHARGE 物体表面过剩或不足的静止的电荷 2.静电场：静电在其周围形成电场 3.静电放电ELECTROSTATIC DISCHARGE（ESD） 两个具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到一定程度后，击穿其间介质而进行放电现象。 4.静电敏感度（ELECTROSTATIC SUSCEPTIVITY） 元器件所能承受的静电放电电压 5.静电敏感器STATIC SENSITIVITY DEVICE （SSD） 对静电放电敏感的器件 6.接地电气连接到能供给或接受大量电荷的物体，如大地，船等. 7.中和NEUTRALIZATION利用异性电荷使静电消失 8.防静电工作区STATIC SAFE AREA配备各种防静电设备和器材，能限制静电电 位，具有明确的区域界限和专门标记的适于从事静电防护操作的工作场地 9，电容（C） 电容为一物体能够储藏多少电荷，或两带等量异性电荷物体间可容忍的电位差的特有参数。若物体上的电荷过多，则会对地（或空气）泄漏。如云层内的静电过多，则会有闪电现象。 若两物体间的电位差过大，则一物体上的电荷会穿破中间的障碍，跑到低电位的物体上。 二.静电的产生 1.摩擦 2.感应 3.传导 一)静电现象 静电现象是日常生活中普遍遇到的物理现象，大至雷电，小至摩擦生电，等等 1.摩擦 任何物质都是由原子组合而成，而原子的基本结构为质子,中子及电子。在正常情况下，一个原子的质子数与电子数量相同，正负平衡，所以对外表现出不带电的现象。当物体表面的分子带有电荷或被极化时，造成电子分布的不平衡，带电现象就产生了. 图1 在日常生活中，任何两个不同材质的物体接触后再分离，即可产生静电，而产生静电的最普通方法，就是摩擦生电。 摩擦是产生静电的主要途径，任何一种材料：固体，气体或液体，不管它是导体还是绝缘体，都可能摩擦带电，带电量的大小和极性，取决于这两种材料本身的特性和其它因素的影响，在日常生活中,所感知的都是绝体带静电,而金属材料很少带静电,这是由于绝缘体电子不活泼,产生的静电不易走,故残留静电很高,而金属导电良好,所产生的静电可以通过很多途径泄放掉,故残留静电很少.按照材料受摩擦后产生正电或负电的可能性。 静电摩擦生电排序如下: 正极性 负极性 空人玻云人尼羊铅纸棉钢木硬镍黄金纤聚聚聚聚聚特 气手璃母类龙毛 张花 材橡和金和维脂氨乙丙 氟 头 胶铜和铂和 脂烯烯乙龙 发 银 人 烯 烯 造 丝 表中左端材料将带正电，右端的材料将带负电，材料的绝缘性越好，越容易是使用摩擦生电，有机玻璃（PLEXIGLAS）和特氟石（TEFLON）这样的非导电体，很容易带电，它们能产生大量的静电荷，有时甚至