电子显微分析讲义打印.pdfVIP

材料科学中的电子显微分析技术 目录 第一部分 电子束与样品的作用 1.1 电子束与样品的作用体积 1.2 电子束照射样品产生的信号 1.3 背散电子和原子序数衬度 1.4 二次电子与形貌衬度 第二部分 电子探针微区成份分析 2.1 能谱分析的物理原理 2.2 能谱设备结构 2.3 谱线分析解读 2.4 能谱图的数据采集方式 第三部分 电子衍射基础 （未完成） 第四部分 电子衍射谱分析方法 4.1 多晶电子衍射花样标定方法 4.1.1 N 比值法 4.1.2 PDF 卡片对照法 4.1.3 未知物相的衍射花样 4.2 单晶电子衍射花样 4.2.1 晶带与晶带定律 4.2.2 衍射斑点的爱瓦尔德球作图法 4.2.3 单晶电子衍射花样标定方法——已知衍射物质和晶体结构 4.3 晶体取向关系分析 4.4 单晶电子衍射花样标定方法——未知物相分析 4.5 计算机辅助电子衍射花样分析 第五部分 复杂电子衍射谱分析 5.1 选区电子衍射 5.2 那束衍射和汇聚束衍射 5.3 超点阵结构 5.4 长周期结构 5.5 菊池线 5.6 背散电子衍射花样 第六部分 高分辨电镜的成像原理及在材料科学中应用 6. 1 高分辨电镜图像的类型 6.2 高分辨电镜的成像过程 6.2.1 基本过程描述 6.2.2 晶格条纹像的形成过程 6.3 高分辨成像分析中的几个概念 6.3.1 空间频率 (spatial frequency) 6.3.2 Moiré 像 6.3.3 傅里叶变换 （Fourier transform, 简称 FT 变换） 6.3.4 弱相位物体 (weak-phase object) 6.3.5 阿贝成像原理 6.4 传递函数 6.4.1 基本概念 6.4.2 球差 （Spherical Aberration） 6.4.3 离焦量 （defocus ） 6.4.4 电压 6.4.5 光阑 6.4.6 色差 6.5 高分辨电镜在材料研究中的应用 6.5.1 晶界 6.5.2 二相界面结构研究 6.5.3 析出第二相结构研究 6.5.4 晶体结构和原子位置——超导氧化物研究 6.5.5 晶体结构中的成份起伏——对 Ga0.5In0.5P 半导体的研究 6.5.6 超晶格结构研究 6.5.7 晶体位错缺陷研究 第一部分 电子束与样品的作用 1.1 电子束与样品的作用体积 当高速运动的电子束打在样品表面，电子会穿透进入样品一定深度。由于样品原子的散射作 用，电子将会向四周散开，在样品表面形成一定的入射宽度和深度。当样品由轻元素组成时电子 穿透较 ，并且留下 “梨形”作用区；而当样品由重元素组成，最终会得到球缺形作用区，如图 1- 1 所示。