GB/T 14603-1993电子工业用气体　三氟化硼.pdf

中华人 民共和 国国家标准 GB/r 14603一93 电子工业用气体 三氟化硼 Gasesforelectronicindustry-Borontrifluoride 主题内容与适用范围 本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路 生产的离子注入和掺杂。 分子式:BF3 相对分子质量:67.805(按 1989年国际相对原子质量) 2 弓!用标准 GB190危险货物包装标志 GB4844 氦气 GB4845 氦气检验方法 GB5274 气体分析 校准用混合气体的制备 称量法 GB5275气体分析 校准用混合气体的制备 渗透法 GB7144 气瓶颜色标记 GB11640 铝合金无缝气瓶 3 技术要求 三氟化硼的质量应符合下表的技术要求。 指 标 项 目 优等品 一等品 合格品 三氟化硼纯度，10-2 ) 99.995 99.95 99.6 空气含量,10-6 20 100 4000 二氧化硫含量,10 ‘ 10 10 20 四氟化硅含量，10- 20 300 300 硫酸盐含量，10 “ 8 8 10 注:①表中纯度和含量均为摩尔分数。 ② 质量保证期一年 4 试验方法 4.1 三报化硼的纯度 国家技术监督局1993一08一26批准 1994一07一01实施 GB/T 14603一93 用摩尔分数表示，按式(1)计算。 z=100一 (X,+=3+T3+=4)x10-4 ·····················……(1) 式中:二— 三氟化硼纯度，1。一2; s,— 空气含量，10-s; x,— 二氧化硫含量,10-0; X3- R氟化硅含量,10-0; 二—‘ 硫酸盐含量,10-`, 4.2 空气和二级化硫含f的测定 4.2.1 方法 采用热导色谱法测定。 4.2.2 仪器 气相色谱仪。要求仪器对空气(氧+氮)、二氧化硫的最小检测量均应比待测样品含量低约一个数量 级。色谱仪的其余各项技术指标应符合仪器使用说明书的要求。 4.2.3操作参考条件 a.检测器:热导池，冷阻约120。; b.热导池温度:约80C; :. 热导池桥路电流:约180mA; d. 载气:氦气，应符合GB4844中纯氦一级品的规定; e 载气流速:约30mL/min; f.进样体积,1一3mL; 9.色谱柱温度:约900C; h.色谱柱:长1m、内径2.5mm的聚四氟乙烯柱，柱内紧密装填0.2-0.15mm的porapakQ; i.取样与进样管线均采用聚四氟乙烯管。 4.2.4 测定步骤 4.2-4.1 测定 将样品气经针形阀和连接管与仪器连接，在经充分置换并取得代表样之后，向色谱仪进样。记录各 被测组分的流出曲线，分别测量各组分的峰面积。重复进样二次，当其相对偏差不大于10%时，