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- | 1993-08-26 颁布
- | 1994-07-01 实施
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中华人 民共和 国国家标准
GB/r 14604一93
电 子 工 业 用 气 体 氧
Gasesforelectronicindustry-Oxygen
飞 主题内容与适用范围
本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求,检验方法,检验规则及产品的包装、标
志、运输、贮存及安全要求。
电广 业「用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体
蚀划和剥离。也可用于光导纤维。
分f式:0
卞!{对分子质量:31.999(1989年国际相对原子质量表)
2 引用标准
‘”190 危险货物包装标志
(;B3863L业用气态氧
GB4844 氦气
GB5099钢质无缝气瓶
GB5832.2气体中微量水的测定 露点法
GB668。液体化工产品采样通则
G136681气体化工产品采样通则
GB7144 气瓶颜色标记
(:137445 氢气
GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法
GB8991气体中微量氢的测定 气相色谱法
GB/T14605氧气中微量氢、氮和氢含量的测定气相色谱法
GB/T14606气体中总烃的测定 火焰离子化检测法
3 技术要求
电子工业用气体氧的质量应符合下表的要求
项 目 】 指 标
超大规模集成电路级 半导体及集成电路级 电子级和散装液态氧
氧纯)变,川 “ ) 99.9853
K含址.1o6 ( 1 ,:5 9:5
袱含缺.JO’· ( 100
国家技术监督局1993-0s-26批准 1994一07一01实施
GB/T 14604一93
续表
指 标
项 目
超大规模集成电路级 半导体及集成电路级 电子级和散装液态氧
氮含量,10s 蕊 30 100 100
一氧化碳含量,10 ‘ ( 1
二氧化碳含量,10-G 蕊 1
一氧化碳和二氧化碳含量,10-巧 夏 5 5
总烃含量(以甲烷计),10 ‘ 蕊 1 5 25
氧化亚氮含量,10” 镇 1 2 2
氟含撼,10 蕊 10
水含傲,10 ‘ 蕊 2 2 2
总杂质含量(包括稀有气体),1。一‘ 毛 147 5000 5000
注:0)本标准不包括对颗粒的技术要求,该技术要求由供需双方商定。
② 纯度及含量均以体积分数表示
4 检验方法
41 采样
4.1.1瓶装气态氧的采样应符合GB66
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