GB/T 14601-1993电子工业用气体　高纯氨.pdf

中华人民共和国国家标准 GB/T 14601一93 电子工业 用气体 高纯氨 Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia 1主题内容与适用范围 本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、 贮存及安全要求。 本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧 化硅的氮化。 分子式:NH, 相对分子质量:17.031(按 1989年国际相对原子质量) 2 弓!用标准 GB19。危险货物包装标志 GB5099钢质无缝气瓶 GB5831气体中微量氧的测定 比色法 GB6285气体中微量氧的测定 电化学法 GB7144气瓶颜色标志 GB7445 氢气 GB8980 高纯氮 GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法 GB10625高纯氢中微量氮的测定 电子迁移气相色谱法 GB14606气体中总烃的测定 火焰离子化检测法 3 技术要求 电子工业用气体高纯氨的质量应符合下表的技术要求。 项 目 指 标 氨的纯度，10-1 ) 99.999 氧含量,1。一‘ 2 氮含量.1。一“ 5 一氧化碳含量.1。~‘ 1 kz(CG^C,)含量,10-1 1 水含量，10-1 5 总杂质含量10-1 10 注:纯度及含量均以体积分数表示。 国家技术监普局1993一08一26批准 1994一07一01实施 GB/T 14601一93 4 检验方法 4-1 盆纯度的测定 按式((1)计算氨的纯度。 P=10。一 (仍+叽+PS+P4十9})x10- ············……(1) 式中:91-氨的纯度，10-3; 外— 氧含量,10-0; 9Pe 氮含量，10-`; 外— 一氧化碳含量,10-s, 9}4- 烃(CI-C3)含量,10-b; 叽— 水含量,10-`0 4.2 级含f的测定 4.2,， 按GB5831的规定进行测定。 4.2.2 按GB6285的规定进行测定。 注:4.2.1及4.2.2两种方法具有同等效力。 4.3氮含a的测定 按GB10625的规定进行测定。在测定之前，需要在检测器前串联一根长30cm、内径3mm的3A 分子筛(0.25-0.20mm)柱。 4.4 一叙化碳含f的测定 按GB8984的规定进行测定。色谱柱改用串联柱:长20cm、内径3mm的3A分子筛(0.25-0-20 mm)柱串联一根长30cm、内径3mm的活性炭(0.40^-0.25mm)柱。采用以氮为底气的标准混合气。 4.5烃(C,-C,)含f的测定 按GB14606的规定进行测定。色谱柱改用长30cm、内径3mm的3A分子筛(0.25^-0.20mm) 柱。采用以氮为底气的标准混合气。 4.6 水含f的测定 4.6.1 方法原理 氨气以恒定的流量通过碳化钙反应管，在这里水与碳化钙反应生成乙炔，随后进入带有氢焰离子化 检测器的气相色谱仪测定乙炔的浓度，并计算水的含量