GB/T 14600-1993电子工业用气体　氧化亚氮.pdf

中华人民共和国国家标准 GB/T 14600一93 电子工业用气体 氧化亚氮 Gasesforelectronicindustry-Nitrousoxide 1 主题内容与适用范围 本标准规定了电子工业用气体— 瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、验收规则及包装、标志、贮 存与运输要求。 本标准适用于硝酸钱热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气 相淀积、等离子工艺。 分子式:N20 相对分子质量;44.01(按 1989年国际相对原子质量) 2 }I用标准 GB190 危险货物包装标志 GB3723 工业用化学产品采样通则 GB5099 钢制无缝气瓶 GB5832.1气体中微量水分的测定 电解法 GB5832.2气体中微量水分的测定 露点法 GB6680液体化工产品采样通则 GB7144 气瓶颜色标志 GB7230气体检测管装置 GB7445 氢气 GB8984 气体中一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定 气相色谱法 GB10624 高纯氛 GB/T14606 气体中总烃的测定 火焰离子化检测法 3 技术亲件 氧化亚氮产品的质量应符合表 1要求。 表 1 项 目 指 标 氧化亚氮纯度，10-, ) 99.9974 氨含量110_6 ( 5 二氧化碳含量,10-s ( 2 一氧化碳含量,10-0 簇 1 国家技术监仔局 1993一as一26批准 1994一07一01实施 GB/r 14600一93 续表 1 项 目 指 标 烃CG--C(以甲烷计)含量,1os 蕊 1 氮含量,10 蕊 10 氧含量 10-0 2 一氧化氮含量.10 “ 镇 1 二氧化氮含量.10-s 〔 1 水含量,10-fi 3 注 :纯度及杂质含量均 以体积分数表示。 4 检验方法 4.1采样方法 采样时将样品钢瓶倒置。采取液相样品，液态样经气化后用导管与仪器直接连接。测定氧、氮、水、 二氧化碳、一氧化碳和烃采用金属管，测定氨、一氧化氮和二氧化氮采用聚四氟乙烯管作为采样导管。 4.2 纯度 氧化亚氮产品的纯度，用体积分数表示，按式((1)计算: T=100一 (9,十R十仍十9}4+叽+几+仍+R+y)X10- ····”·(1 式中:，一 氧化亚氮纯度,10-2; 仍— 氨含量,10-`; 4— 二氧化碳含量,10-`; 妈— 一氧化碳含