GB/T 14602-1993电子工业用气体　氯化氢.pdf

中华人 民共和 国国家标准 GB/r 14602一93 电子工业用气体 氯化氢 Gasesforelectronicindustry-Hydrogenchloride 1主题内容与适用范围 本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。 氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光 导通讯和科学研究等领域。 分子式 HCl 相对分子质量:36.461(按 1989年国际相对原子质量) 2 引用标准 GB19。危险货物包装标志 GB4845氦气检验方法 GB7144 气瓶颜色标记 GB7445 氢气 GB8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定 气相色谱法 3 技术要求 氯化氢的质量应符合下表的技术要求。 项 目 指 标 氯化氢纯度，10， ) 99.9944 二氧化碳含量10-1 ( 10 氮含量,10-6 簇 16 氧+氢含量,lo ‘ 镇 5 烃类含量,lo ‘ 《 s 水含量.1。已 ( 10 氢含量,lo ‘ 簇 10 注:①本指标系瓶装产品的气体质量指标，保证期6个月。 ②表中纯度和含量系体积分数。 4 检验方法 4门 氮化氢纯度 国家技术监督局1993一08一26批准 1994一07一015M GB/T 14602一93 (化Z的纯度(v八厂)按式(1)计3) 甲=100一 (叭+T2+91,+9}i+叽+9}R)Xlo- ·····················……(I) 式 ‘卜 “-一诫化氢的纯度,102; Ti一一氧(含1r()含Q,10 ;‘ 子一一氮含I1,106, q,--一 氧化碳含Ulo; 华一 烃类含址.10 ;‘ 爹-一 水含址.10 ;‘ 外一一-l含Q,lo。 4.2 氧(含氖)、氮含量的测定 4.2门 方法原理 采用气相色谱法，以热导检测器检测。首先将样品气经预分离柱使氯化氢与被测组分分离，并切割 反吹出械化氢 然后再经色谱柱将被测组分中的氧与氮分离，依次进人检测器检测。由于氧、氮含量与热 异检测器所引起的桥路阻值变化成正比。由此定量氧、氮 4.2.2 仪器 采用装配有切割反吹气路的热导色谱仪，仪器对氧、氮的最低检测浓度应符合本标准要求。测定装 羚的户意流程图见附录A(参考件)图Al 4.2.3 测定参考条件 检测器:冷阻值 120Sb的热导池; b.桥路电流:200mA; 。.载气纯度:不低于99.9999X10-2氢气; d.载气流速:40ml./min; e. 反吹气纯度:不低于”.9999X10-2的氢气; f.反吹气流速:70ml,/min; 9.预分离柱:长800mm、内径4mm的不锈钢管，内装。2-0.3mm的porapakQ，柱温为室温; h. 色谱柞:长900mm、内径4mm的不锈钢管，内装。4^0.5mm的13X分子筛，柱温为50C;