GB/T 24469-2009电子工业用气体　5N氯化氢.pdf

犐犆犛７１．１００．２０ 犌８６ 中华人 民共和 国国家 标准 ／ — 犌犅犜２４４６９ ２００９ 电子工业用气体 ５犖氯化氢 　 — 犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉 ５犖犺犱狉狅犲狀犮犺犾狅狉犻犱犲 狔 狔 犵 ２００９１０１５发布 ２００９１２０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜２４４６９ ２００９ 前 言 　　 本标准根据 ／ — 《电子工业用气体 氯化氢》同类产品标准，结合原料、生产工艺特 ＧＢＴ１４６０２ １９９３ 　　 　 点及半导体工艺对氯化氢产品的新要求而制定。国家标准 ／ — 《电子工业用气体 氯 ＧＢＴ１４６０２ １９９３ 　 化氢》在产品质量控制指标及其检验方法上已不适合当前半导体工艺的新要求，尤其未能规定对半导体 器件质量有重要影响的杂质———金属离子的含量。因此，需要制定本标准。 本标准对杂质水、甲烷 乙炔和金属离子含量的测定方法与国际先进标准 的方 ＋ ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１ 法基本相似，而对杂质氧 氩、氮和一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法则优于标准 ＋ ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１ 的方法。 本标准首次提出了氯化氢专用钢瓶的处理、产品充装和分装规则等。 本标准附录 、附录 为规范性附录，附录 为资料性附录。 Ａ Ｂ Ｃ 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会（ ／ ）提出并归口。 ＳＡＣＴＣ２０３ 本标准起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化 四所。 本标准主要起草人：张吉瑞、孙福楠、刘筠。 Ⅰ