有机材料蒸镀机之真空定位遮罩封装系统-eTop-工程科技推展平台.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 有機材料蒸鍍機之真空定位遮罩封裝系統 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 100-2622-E-129-001-CC3 執 行 期 間 ：100年06月01日至101年05月31日 執 行 單 位 ： 聖約翰科技大學機械與電腦輔助工程系 計 畫 主 持 人 ：張瑞慶 公 開 資 訊 ： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 101 年 08月 17 日 中 文 摘 要 ： 蒸鍍機已成為有機發光二極體(OLED)製程的重要設備，如何 提升OLED 的功能與品質，以及節省鍍膜的時間和能源，乃 是有機蒸鍍設備極需解決的問題，而本計畫的目的便是與製 作有機蒸鍍設備的廠商合作，共同研發真空定位遮罩封裝系 統，以提升設備的功能，並有效節省能源。 本計畫主要做法是在真空腔體上的旋轉台內設置定位遮罩封 裝系統，當試片完成第一層有機層鍍膜後，可於真空下直接 移動第二層鍍膜遮罩至定位，持續進行第二層金屬層鍍膜， 減少腔體破真空次數，降低水氧入侵，與人為因素損壞的機 率，並大大提升更換遮罩的速度，當最後的金屬層鍍膜結束 後，移入UV 膠封裝背蓋玻璃與封裝台結合，打開UV 燈，即 可直接於真空下完成OLED 元件封裝，可有效保護元件，將 可大大提升元件效率與壽命。 本計畫所研發的機構，可以達到元件從薄膜製作到封裝，全 程皆處於真空狀態下，避免試片進出手套箱，產生人為失誤 及水氧侵入，影響有機薄膜品質的問題，大大提升設備的功 能與效率。本計畫最後製作OLED元件，來進一步確認上述的 設計，是否能確實提升元件的品質。最後，將上述研發成果 申請專利，以保障智慧財產權。 中文關鍵詞： 蒸鍍；有機發光二極體；遮罩；封裝 英 文 摘 要 ： Evaporator becomes one of the most important techniques in the manufacturing of organic light- emitting diodes (OLEDs). The key issue of the evaporating machine is how to improve the functions of the equipment and quality of the deposited thin films, and reduce the operation cost in the same time. In effort to cooperate with a evaporator manufacturer, this project focuses on developing a vacuum positioning mask and pack