直线电机滑台的空间位置精度研究-华东理工大学学报.PDF

DOI: 10.14135/j.cnki.1006-3080.20170628002 直线电机滑台的空间位置精度研究 陈 浩，安 琦 (华东理工大学机械与动力工程学院，上海200237) 摘要：直线电机滑台作为直线电机的支撑机构，常被应用在高精度的直线运动场合。直线电机滑台机 构在运动过程中会受到磁推力、重力等多种外力作用，使滑台机构发生弹性变形，产生空间位置误差。本 文通过力学建模，分析了直线电机滑台机构在外载荷的作用下的位移同滚珠变形的关系，并基于赫兹接触 公式，得到了滑台空间位置精度的计算模型。通过该计算模型分析了滑台的质量和质心位置、工件的质量 和安装位置、电枢的安装高度、滑台的加速度以及滚珠的预压变形对滑台的空间位置精度的影响。发现如 下：当工件的质量不大时，工件的质量和安装位置对滑台的空间位置精度的影响规律与滑台的质量和质心 位置的影响规律相同，即滑台随着工件安装位置或滑台质心位置的偏移在偏移的方向上线性移动，随着工 件或滑台质量的增大在空间三个方向上线性移动；当工件质量较大时，滑台的空间位置变化随着工件质量 的增加呈现出非线性特点；当电枢安装高度与滑台质心高度不一致且滑台加速时，滑台在加速的反方向上 发生与加速度成比例的线性移动且两者相距越远，比例系数就越大；增大滚珠预压变形可提高滑台的空间 位置精度但也会增大滚珠的最大接触应力。 关键词：直线电机滑台；空间位置精度；滑台质心位置；工件安装位置；电枢安装高度；加速度； 中图分类号: TH115 文献标志码: A Research on Space Position Accuracy of a Linear-Motor Rolling–Guide Stage CHEN Hao, AN Qi (School of Mechanical and Power Engineering, East China University of Science and Technology, Shanghai 200237, China) Abstract: As the support mechanism of linear motor, the linear-motor rolling-guide stage is often used in high precision linear motion. When working, the stage suffers a variety of forces such as magnetic thrust, gravity in movement, which will result in elastic deformation and space position error of stage. In this paper, the relationship between the deformation of balls and the displacement of linear-motor rolling-guide stage under external loads is analyzed by mechanical modelling and the calculating model of space position accuracy of the stage is established on the basis of Hertz contact formula. By using the calculating model the influences of the mass and the barycenter position of stage, installation position and mass