GB/T 30860-2014太阳能电池用硅片表面粗糙度及切割线痕测试方法.pdf

ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT30860 2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及 切割线痕测试方法 Testmethodsforsurfacerouhnessandsawmarkofsiliconwafersforsolarcells g 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT30860 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 ( / ) ( / 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会 SACTC203及材料分技术委员会 SACTC / )共同提出并归口。 203SC2 : 、 ( ) 、 本标准起草单位 中国有色金属工业标准计量质量研究所 瑟米莱伯贸易 上海 有限公司 江苏协 、 、 、 鑫硅材料科技发展有限公司 有研半导体材料股份有限公司 特变电工新疆新能源股份有限公司 洛阳 、 。 鸿泰半导体有限公司 连云港国家硅材料深加工产品质量监督检验中心 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 徐自亮 任皓 陈佳洵 李锐 孙燕 熊金杰 杨素心 蒋建国 王丽华 薛抗美 黄黎。 Ⅰ / — GBT30860 2014 太阳能电池用硅片表面粗糙度及 切割线痕测试方法 1 范围 ( ) 本标准规定了太阳能电池用硅片 以下简称硅片 的表面粗糙度及切割线痕的接触式或非接触式轮 廓测试方法。 。 , 本标准适用于通过线切工艺加工生产的单晶和多晶硅片 如果需要适用于其他产品 则需相关各 方协商同意。 2 规范性引