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操 作 手 册
反磁控皮拉尼真空计
MPG400
MPG401
tina48e1-a (2006-12) 1
产品标识 与INFICON公司联系时,请告知产品名牌上的信息. 为便于参考,请将产品信息填入
下列空格中:
INFICON AG, LI-9496 Balzers
Model:
PN:
SN:
V W
有效性 本文件适用于下列件号的产品:
MPG400 (FPM密封) MPG401 (全金属)
351-010 (DN 25 ISO-KF) 351-020 (DN 25 ISO-KF)
351-011 (DN 40 ISO-KF) 351-021 (DN 40 ISO-KF)
351-012 (DN 40 CF-C) 351-022 (DN 40 CF-C)
件号(PN)可从产品的名牌上看到.
如图例中未特别标明,本文插图中相应的产品件号351-010. 类似应用于其它产品.
我们保留不事先通知技术修改的权利.
全部尺寸为毫米.
用途 反磁控皮拉尼真空计MPG400和MPG401用于压强范围为5×10-9 … 1000毫巴的真空
测量.
切勿将反磁控皮拉尼真空计用于测量与空气产生反应的易燃或易爆性气体.
真空计可与单通道控制器VGC401,双通道控制器VGC402和三通道控制器VGC403
或其它适当的仪器连接使用.
基本原理
在整个测量范围内,测量讯号输出为对数压强讯号.
真空计包含两个单独的测量系统(皮拉尼和反磁控原理的冷阴极系统). 为用户方便,复
合成一个测量系统.
2 tina48e1-a (2006-12) MPG400-401.om
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