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第四章 射频板条CO2激光器 射频板条CO2激光器 唐霞辉教授 激光加工国家工程研究中心 2013-3-26 射频板条CO2激光器是高功率连续CO2激光器的历史进化 最高水平，从哲学上讲，实现由不流动流动回 到不流动。目前最高水平德国RIFON。每年进口600台。 工程技术难度极大。 第四章 扩散冷却射频板条CO2激光器 4.1 扩散冷却的基本结构及原理 4.2 射频激励技术 4.3 非稳波导混合腔 4.4 光束整形 4.5 ROFIN射频板条产品 4.6 国产化研究进展 4.1射频板条CO2激光器基本结构及原理 高精度射频板条电极设计与加工 大功率射频电源设计与开发 非稳波导混合谐振腔 匹配网络与并联谐振技术 光束整形设计 射频气体放电理论与参数测试 射频板条CO2激光器结构及关键技术框图 1.扩散冷却CO 激光器原理====面积放大概念 2 玻璃管激光器长度放大：激光器工作时所产生废能热传导扩散到 放电管管壁，然后由水冷套中的冷却水带走。注入电功率，即 T P  k max 4l in g 1 Q 式中k 为气体的热传导系数，T 为最大允许温升， 为量子效 g max Q 率，l为放电管的长度。这类激光器的输出功率仅和放电长度有关。 2013-9-17 激光器件原理与设计 5 射频板条激光器理论基础面积放大：放电气体的热量 传输到两个相距很近的金属电极上，然后被电极内流动 的冷却液带走热量。 作业：玻璃管激光器和射频板条的不同点？ T2 T2 1 1 T T Water cooling Water cooling T w Tw Gas Tg 0 d x 201