TiO2纳米颗粒制备、光催化性能和羟基自由基研究.PDF

太 原 理 工 大 学 学 报 Journal of Taiyuan University of Technology 本模板由不同论文拼凑而成，请主要关注格式和规范要求，忽略内容上的前后不对应 请单栏排版 TiO 纳米颗粒的制备、光催化性能及羟基自由基研究 2 标题题目应恰当简明地反映论文内容，精确点明本文的独创性内容 第一作者 1 ，2 ，第二作者 2 （1.XXXX大学 XX学院，山西 太谷 03080 1； 2 XXXX 大学 XXXX学院，山西 太原 030006 ） 摘 要：摘要内容应包括目的、方法、结果和结论；缩写词第一次出现时请用全称；不要出现公式、图表和 参考文献序号。针对金属层间介质以及MEMS 等对氧化硅薄膜的需求，采用等离子增强型化学气 相淀积(PECVD)技术，以SiH 和N O 为反应气体，低温制备了SiO 薄膜。利用椭偏仪、应力测 4 2 2 试系统对SiO2 薄膜的厚度、折射率、均匀性以及应力等性能指标进行了测试，探讨了射频功率、 SiO SiO 反应腔室压力、气体流量比等关键工艺参数对 薄膜性能的影响。结果表明： 薄膜的折射 2 2 率主要由N O/SiH 的流量比决定，而薄膜均匀性主要受电极间距以及反应腔室压力的影响。通过 2 4 优化工艺参数，低温260℃下制备了折射率为1.45~ 1.52 （中文环境下，用波浪线表示数字范围），均匀 性为±0.64%，应力在 −350~− 16 MPa （量、单位和符号严格执行国家标准，不可使用非法定计量单位；数 字与单位之间空一格）可控的SiO2 薄膜。采用该方法制备的SiO2 薄膜均匀性好，结构致密，沉积速 率快，沉积温度低，且应力可控，可广泛应用于集成电路以及MEMS 器件中。 关键词：二氧化钛纳米颗粒；聚丙烯酰胺凝胶法；羟基自由基；光催化活性 关键词应能够反映论文的主题内容, 应精确、包含热点信息；注意避免与正文标题重复太多, 以增大论文通过 不同角度被检索到的可能性；以3~8个为宜，用分号分隔 中图分类号： 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2013)00-0000-00 （可列出一个或一个以上中图分类号，按 《中国图书馆分类法》确定） Preparation,PhotocatalyticPropertiesandPhotogenerated HydroxylRadicalsofTiO Nanoparticles 2 给出英文标题, 内容应与中文对应, 语序可根据中英文逻辑习惯方面的不同进行相应的调整 （实词首字母大写） 1,2 2 2 2 WEI Qin ,WU Dan , ZHANG XU zhen , LI Chao （姓全部大写） Abstract:To meet the demand of inter-metal dielectric (IMD) 缩写词第一次出现时请用全称 （并将缩写写 在全称后面的括号中）layers and micro electro mechanical systems (MEMS), silicon dioxide films 太 原 理 工 大 学 学 报 deposi