《JCT597-1995-半导体用透明石英玻璃管》.pdfVIP

中华人民共和国建材行业标准 JC/T597一1995 半导体 用透 明石英玻璃 管 1 主题内容与适用范围 本标准规定了半导体用透明石英玻璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法，检验规则及标志、 包装、运输和贮存等。 本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料，应用于半导体工业的透明石英玻璃 管(以下简称石英玻璃管)。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。 2 引用标准 GB/T3284 石英玻璃化学成分分析方法 GB5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法 GB10701 石英玻璃热稳定性检验方法 GB/T12442 石英玻璃中经基含量试验方法 3 术语 3.1 气线:石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。 3.2 气线密度:每平方厘米中气线条数。 3.3破皮气线:暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线，其边缘锋利。 3.4 色线:石英玻璃管上带有颜色的线条。 3.5 沟棱:石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱。 3.6 晶纹:石英玻璃管上有明显可见的各种微小的炸裂纹。 3.7麻点:石英玻璃管壁上的小斑点。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的痕迹。 3.8 杂质:石英玻璃组成中二氧化硅(Si0,)以外的组分。 3.9 生料颗粒:透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 3.10 透明颗粒:石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒。 3.11 波纹:石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。 3.12 色斑:在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。 3.13气泡群:透明石英玻璃管壁中，由微小气泡(d、于标准中气泡的下限尺寸)密集而成的群集气泡。 3.14 揪痕:排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。 3.15 暗疤:透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态(俗称雪花，破皮或梅 花)。在高温熔烧中发橙色亮光。 3.16 炸裂:石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。 3.17 析晶:透明石英玻璃在特定温度下析出晶体，造成失透。 3.18 桔皮:透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。 3.19 云雾:石英玻璃管烧制加工中，所产生的二氧化硅(Sioi)挥发物，冷凝后附着在表壁上的白色不 透明物。 国家建筑材料工业局1995一11一23批准 1996一05一01实施 JC/r597一1995 3.20 偏壁度:石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差。 3.21 椭圆度:石英玻璃管同一横截面上最大、最小直径之差。 3.22 弯曲度:石英玻璃管在长度方向的平直程度。 4 产品分类 4门 分类 按生产工艺分以下5类: a. 真空常压法管(常压管); b. 真空加压法管(加压管); c. 电熔二步法管; d. 气炼、电熔二步法管(气炼二步法管); e. 气炼一步法管(气炼管)。 4.2 等级 石英玻璃管按外观分为优等品(A)、一等品(B)和合格品((C)3个等级。 5 技术要求 5门 规格尺寸 5.1.1 石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、壁厚偏差应符合表1、表2的规定 5门.2 石英玻璃管的标准长度为1OOOMM. 表 1 外 径 范 围.mm 外 径 偏 差，% 10- 50 士3.0 51^70 士3.0 71- 90 士2.7 91- 100