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基于激光多普勒技术的犘犣犜薄膜压电性能测试研究
第 卷 第 期 光学 精密工程
13 6
Vol.13 No.6
O ticsandPrecisionEnineerin
年 月 p g g
2005 12 Dec.2005
文章编号 ( )
1004924X200506065806
基于激光多普勒技术的犘犣犜薄膜压电性能测试研究
许晓慧,鲁 健,朱龙洋,褚家如
(中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系,安徽 合肥 230027)
摘要:应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了 ( ( , ) )铁电薄膜
PZT PbZrTiO3
的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并
提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级。此外,研究了用溶胶 凝胶技术和溶胶 电雾化技术制备得
到的 薄膜的电压 位移曲线和压电位移“蝴蝶线”,实验结果表明:在 直流偏置下测得两种方法制备得到的
PZT 5V PZT
薄膜的 压电系数分别为 / 和 / ,相应的标准偏差分别为 和 。
d 218.7 CN 215.8 CN 12.7 28.6
33 p p
关 键 词: 铁电薄膜;激光多普勒技术;数字锁相
PZT
中图分类号: 文献标识码:
TN247 A
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