基于激光多普勒技术的犘犣犜薄膜压电性能测试研究.PDF

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基于激光多普勒技术的犘犣犜薄膜压电性能测试研究

第 卷 第 期 光学 精密工程 13 6   Vol.13 No.6                O ticsandPrecisionEnineerin         年 月   p g g 2005 12 Dec.2005       文章编号 ( ) 1004924X200506065806   基于激光多普勒技术的犘犣犜薄膜压电性能测试研究 许晓慧,鲁 健,朱龙洋,褚家如   (中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系,安徽 合肥 230027) 摘要:应用基于激光多普勒技术的微小形变分析方法,并引入数字锁相技术,成功实现了 ( ( , ) )铁电薄膜 PZT PbZrTiO3 的压电性能测试。对商用压电陶瓷在小信号激励下的压电性能测试表明,数字锁相技术的引入能有效抑制系统噪声,并 提高激光多普勒系统的位移检测分辨率,使其达到皮米量级。此外,研究了用溶胶 凝胶技术和溶胶 电雾化技术制备得   到的 薄膜的电压 位移曲线和压电位移“蝴蝶线”,实验结果表明:在 直流偏置下测得两种方法制备得到的 PZT  5V PZT 薄膜的 压电系数分别为 / 和 / ,相应的标准偏差分别为 和 。 d 218.7 CN 215.8 CN 12.7 28.6 33 p p 关 键 词: 铁电薄膜;激光多普勒技术;数字锁相 PZT     中图分类号: 文献标识码: TN247 A    犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮 狉狅犲狉狋犻犲狊狅犳犘犣犜 狆 狆 狆 犳犻犾犿狊犫 犾犪狊犲狉犇狅 犾犲狉狋犲犮犺狀犻狌犲 狔 狆狆 狇 , , , XUXiaohuiLUJian ZHULonan CHUJiaru gy g ( , 犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犪犮犺犻狀犲狉 犪狀犱犘狉犲犮犻狊犻狅狀犐狀狊狋狉狌犿犲狀

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