余景池-单点金 刚石车削工艺研究.pdfVIP

单点金刚石车削工艺研究 余景池 苏州大学现代光学技术研究所 2012.9.1 目录： 1. 概述 2. 单点金刚石车削刀具位置的校正方法 3. 利用干涉测量结果补偿单点金刚石车削对称误差的方法 4. 大数值孔径高次非球面超精密车削与检测工艺 5. 自由曲面超精密车削与检测工艺 6. 超精密车削表面粗糙度与工艺参数之间的关系实验研究 7. 总结与展望 1. 概述 单点金刚石车削（SPDT）的特点： (Single Point Diamond Turning) 加工周期短 污染小 产品一致性好 有利于批量生产的质量控制 1. 概述 导弹红外成像制导反射镜 应用背景 国防工业 红外雷达反射镜 提高了武器 瞄准跟踪系统的性能 步兵及坦克夜视红外透镜 航空高速多瓣防滑轴承的内滚道 航天工业 加快了新型 陀螺仪框架与平台 航天系统更新换代 X射线天体望远镜 集成电路 （IC）有关的硅片 民用工业 眼镜片批量生产的模具 提高了批量 生产效率 精度 二元光学元件 1. 概述 u 单点金刚石车削工艺中的误差补偿技术在国外的研 究已经非常深入，但是在其公开发表的文献上，出于工 艺方法的必威体育官网网址，其核心数学模型，无详 的阐述。 u 一般单点金刚石车削设备，都配备相应的面形误差 补偿软件，并且进行加密，我们只有使用功能，不能查 看源代码。如果有新的车削要求，软件将无法使用。 u 在实际工作中，建立自主的刀具调整和误差补偿模 型，特别是针对大相对孔径的高次非球面具有非常重要 的意义。 2. 点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法 单点金刚石车削刀具偏置对车削面形的影响 刀具垂直偏置后造成 刀具水平偏置使实际加工 车削球面半径的变大 轨迹的位置偏离了理论值 x x R A O R 2 dy 2 z (x) R 2 x 2 2. 点金刚石车削刀具位置偏差的校正方法 单点金刚石车削刀具偏置对车削面形的影响 刀具