双球差校正分析型场发射透射电镜技术参数.PDF

双球差校正分析型场发射透射电镜技术参数 1. 设备名称：双球差校正分析型场发射透射电子显微镜 2. 数量：1套 3. 设备用途说明： 用于材料科学进行快速、精确的形貌观察和微区的晶体结构和定量表征，选择特定设 计的样品台进行原位动态实验。用于金属、半导体、电介质、多层膜结构、稀土材料等材 料的形貌、晶格、缺陷或界面原子结构的表征；提供材料的化学成分信息、轻重原子分布、 电子结构、缺陷及成键信息、静电和磁场信息等；可以对材料进行原位分析、三维重构分 析等。本系统主要有电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。 4. 主要工作环境  4.1 电源电压：220V （±5%）50HZ，单相 或380V （10%）  4.1.1电源及频率稳定性：≤ 5% 4.1.2 地线：≤5欧姆以下独立地线   4.2 工作环境温度： 10 C-25 C 4.3 环境相对湿度： ≤80％ （@20℃） 4.4 压力变化：≤ 1 Pa 4.4 空气流动： ≤100mm/秒 4.5 噪音：≤50-60dB 4.6 振动：≤0.2-0.4um 4.7 磁场：直流电流磁场波动：小于0.05 T；交流电流磁场波动：小于0.05 T 4.8 仪器运行的持久性：仪器可连续使用 4.9 仪器的工作状态：较强的防震抗磁能力，工作稳定 4.10 仪器设备的安全性：符合放射线防护安全标准和电器安全标准 5．技术要求及参数 5.1 电子枪和加速电压 *5.1.1 电子枪：冷场发射电子枪或者带单色器的X-FEG 电子枪，电子枪质保8年， 如果单支电子枪质保寿命不足，应额外提供满足8年使用的电子枪。 5.1.2 加速电压：30或40--300kV，双球差校正器和整个电镜主机系统均在30或40KV、 1 60或80kV、120KV、200kV、300kV加速电压下完成合轴；加速电压在全程范围内可自 由切换，一键完成，无需重新合轴。 -6  *5.1.3高压稳定性：≤0.8 10 /min （峰峰值） -6  *5.1.4物镜电流稳定度：≤0.5 10 /min (峰峰值) 5.1.5 束流：≥2.0nA@0.136 nm， 束流稳定性：≤2%@10小时 *5.1.6 在不使用单色器条件下能量发散度：≤0.30eV@300KV， 9 2 且亮度≥1.0*10A/cm/Sr @300KV(300 pA束流条件下) 5.2 分辨率    5.2.1TEM点分辨率(杨氏条纹)：0.07nm（300kV）；0.09nm（200kV）；0.13nm（80kV）； 5.2.2 TEM 晶格分辨率：0.060nm    5.2.3STEM分辨率(FFTspot)：0.065nm(300KV)；0.095nm（200kV）；0.12nm(80KV)； 5.3 全自动光阑系统，须马达驱动，包括自动化一级、二级聚光镜光阑，物镜光阑，选区 光阑 *5.4 双球差校正器：标准配置 （球差校正器为核心设备，如只提供单球差或者无球差， 将直接导致废标） 5.4.1 球差系数调节范围：-0.1到1.2mm *5.4.2 每个矫正透镜 （物镜和聚光镜）均采用≥6极子设计，最低优化校正到≥4阶 像差系数以上； 5.4.3 球差矫正器矫正透镜采用长、短焦距或者等焦距设计，光路采用轨道扩张型设