山东大学原子力显微镜采购项目技术要求-山东大学采购网.DOC

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2019-02-23 发布于天津
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山东大学原子力显微镜采购项目技术要求采购内容分包情况技术参数及采购数量包原子力显微镜主机部分参数要求配置序号配置名称详细技术参数要求数量高速扫描三轴闭环扫描器方向不小于方向不小于可实现快速扫描扫描速度不低于超高精度样品台超光学视野自动图像匹配识别识别精度高于可实现光学图像自动拼合及光学定位辅助测量全范围亚微米定位精度定量机械力学测试软件要求杨氏模量测试范围粘附力通过峰值力轻敲模式反馈实时调整峰值反馈力的大小控制精度小于反馈力大小可直接软件定量的调整力曲线速度不低于得到形貌的同时得到表面的粘附力杨

山东大学原子力显微镜采购项目技术要求采购内容分包情况、技术参数及采购数量 A包：原子力显微镜主机部分参数要求配置序号配置名称详细技术参数要求数量 1 高速扫描三轴闭环扫描器 XY方向不小于100um,Z方向不小于15um。可实现快速扫描，扫描速度不低于70HZ。 1 2 超高精度样品台超光学视野自动图像匹配识别，识别精度高于300nm；可实现光学图像自动拼合及光学定位辅助测量，全范围亚微米定位精度。 1 3 定量机械力学测试软件要求杨氏模量测试范围 1KPa~100 GPa，粘附力10 pN~10uN，通过峰值力轻敲模式反馈实时调整峰值反馈力的大小，控制精度小于5