振动环境下微小间隙的光栅测量法-太赫兹科学与电子信息学报.PDF

第 12 卷 第 5 期 太赫兹科学与电子信息学报 Vo1.12，No.5 2014 年 10 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Oct.，2014 文章编号：2095-4980(2014)05-0779-04 振动环境下微小间隙的光栅测量法 1 1 1 2 李春枝 ，陈 颖 ，农绍宁 ，刘 斌 (1. 中国工程物理研究院 总体工程研究所，四川 绵阳 621999 ；2.合肥正阳科技公司，安徽 合肥 230000) 摘 要 ：为测量振动环境下层间结构内部微小间隙的相对变化，设计了一种用于狭小空间内 的平直光栅传感器。根据指定应用条件研究设计光栅传感基片的封装方案及其主要技术指标，并 制作出平直光栅传感器。该传感器测量范围 0.5 mm~0.8 mm ，标定指标良好。通过试验应用证 明，采用光栅传感器可实现振动环境下微小间隙的直接测量，且不用破坏原结构，与传统方法相 比，数据真实可信，满足测量精确度 μm 量级要求。 关键词 ：光栅测量；微小间隙；振动；传感器 中图分类号 ：TN959.6 ；TB123 文献标识码 ：A doi ：10.11805/TKYDA201405.0779 Tiny clearance measurements by fiber grating sensor under vibration environment 1 1 1 2 LI Chun-zhi ，CHEN Ying ，NONG Shao-ning ，LIU Bin (1.Institute of System Engineering，China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China； 2.High-tech Zone，Hefei Photoelectric Technology Limited，Hefei Anhui 230000，China) Abstract： A new flat fiber grating sensor used in narrow space is designed for measuring dynamic tiny clearance under vibration environment. According to given application conditions, substrate encapsulation scheme and its main technical indicators of the grating sensor are designed, and the measurement range is from 0.5 mm to 0.8 mm with good calibration data. The experiment results show that the grating sensor can realize the tiny clearance measuring under vibration environment without damaging the original structure; and i