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基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计-南京工业大学学报
34 3 ( ) Vol.34No.3
2012 5 JOURNALOFNANJINGUNIVERSITYOFTECHNOLOGY(NaturalScienceEdition) May2012
doi:10.3969/j.issn.1671-7627.2012.03.006
MEMS
, , ,
( , 211816)
: , Pt
, ANSYS 。 :
15mW 7℃, 13mW 300℃。 MEMS
。 , 3 ,
, 。
: ; ; ;
:TP212.2 :A :1671-7627(2012)03-0031-05
Designofstructureandprocessformicrogassensor
basedonMEMStechnology
ZHANGZili,YINChenbo,ZHUBin,TAOChunmin
(CollegeofMechanicalandPowerEngineering,NanjingUniversityofTechnology,Nanjing211816,China)
Abstract:Inordertofillupthedeficiencyofthecomplexfabricationprocessofthetraditionalstacked
typemicrogassensor,aplanartypemicrogassensorinwhichPtelectrodeswereplacedonthesame
planewasdesigned.Thermalperformanceofthesensorwasanalyzedbythefiniteelementanalysistool
ANSYS.Thetemperaturedifferenceontheworkareaofthegassensingthinfilmwasabout7℃ when
powerconsumptionwas15mW,andthemaximumtemperatureofthesensorreached300℃whenpower
consumptionwas13mW.Fabricationprocessoftheplanartypemicrogassensorwasthenproposed
basedonMEMStechnologycompatiblewithsol
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