基于条纹反射的超精密车削反射镜的在位面形检测.PDF

激光与光电子学进展 , ( ) « » ５５ ０７１２０３２０１８ C２０１８ 中国激光 杂志社 LaserOtoelectronicsProress ○ p g 基于条纹反射的超精密车削反射镜的在位面形检测 , １２ １ １ , , 邵山川 陶小平 王孝坤 １ , ; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室 吉林 长春 １３００３３ ２ , 中国科学院大学 北京 １０００４９ , 、 摘要 针对单点金刚石车削金属反射镜的加工检测迭代周期较长的问题 引入了动态范围大 检测速度快的条纹 　 , , . , 反射法 实现了对金属反射镜的在位面形检测 提高了制造效率 对条纹反射面形检测原理进行了研究 通过光线 , 追迹程序对口径为 １００mm的反射镜面进行了模拟仿真 分析了条纹反射在位面形检测系统完成微米级面形检测 ; , . 时的位姿标定需求 对口径为 １００mm的凹球面金属反射镜进行了在位检测 测量精度优于 １ m 研究结果对单 μ 点金刚石车削反射镜的加工提供了参考. ; ; ; ; 关键词 测量 条纹反射 金刚石车削 在位面形检测 位姿误差 　 中图分类号 文献标识码 : / 　TN２４７　　　 　A doi１０．３７８８LOP５５．０７１２０３ OnＧMachineSurfaceShaeMeasurementofReflectiveMirrors p b UltraＧPrecisionTurnin BasedonFrineReflection y g g １ ２ １ １ ShaoShanchuan TaoXiaoin Wan Xiaokun p g