气体静压轴承设计及关键零件加工工艺研究.PDF

圆园员远年 苑月 机械科学与技术 允怎造赠 圆园员远 第猿缘卷 第苑期 酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠枣燥则粤藻则燥泽责葬糟藻耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早 灾燥造援猿缘 晕燥援苑 阅韵陨院员园援员猿源猿猿辕躁援糟灶噪蚤援员园园猿鄄愿苑圆愿援圆园员远援园苑员远 气体静压轴承设计及关键零件加工工艺研究 员袁圆 员袁圆 员袁圆 员袁圆 管峰 袁李圣怡 袁关朝亮 袁铁贵鹏 渊员援 国防科学技术大学机电工程与自动化学院袁长沙摇 源员园园苑猿曰圆援 超精密加工技术湖南省重点实验室袁长沙摇 源员园园苑猿冤 摘要院气体静压主轴广泛地应用于精密尧超精密机床设备中袁其核心零件的加工精度是主轴性能优劣 的重要影响因素遥 本文以自主设计的气体静压止推轴承为例袁分析了典型制造误差对轴承承载力及 刚度等性能的影响袁以误差分析结果为基础给出静止推板的设计精度遥 对于亚微米精度要求的静止 推板袁针对其装夹微变形问题袁提出了变形误差补偿车削原理袁即在机床上按吸附变形误差的反误差 进行加工袁使静止推板在去除真空吸附后的自由状态下能达到高的面形精度遥 对芰员愿愿皂皂的静止推 板圆环面进行了补偿加工实验袁面形误差快速收敛到员滋皂以下袁达到了高精度的加工要求遥 关键词院气体静压止推轴承曰误差分析曰吸附变形曰补偿车削 中图分类号院栽匀员圆圆曰栽匀员远摇 摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 摇 文章编号院员园园猿鄄愿苑圆愿渊圆园员远冤园苑鄄员园愿猿鄄园远 粤藻则燥泽贼葬贼蚤糟月藻葬则蚤灶早阅藻泽蚤早灶葬灶凿泽贼怎凿赠燥灶孕则燥糟藻泽泽蚤灶早 栽藻糟澡灶燥造燥早赠枣燥则运藻赠孕葬则贼泽 员袁圆 员袁圆 员袁圆 员袁圆 郧怎葬灶云藻灶早 袁蕴蚤杂澡藻灶早赠蚤 袁郧怎葬灶悦澡葬燥造蚤葬灶早 袁栽蚤藻郧怎蚤责藻灶早 员援悦燥造造藻早藻燥枣酝藻糟澡葬贼则燥灶蚤糟耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早葬灶凿粤怎贼燥皂葬贼蚤燥灶袁晕葬贼蚤燥灶葬造哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣阅藻枣藻灶泽藻栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁悦澡葬灶早泽澡葬源员园园苑猿袁悦澡蚤灶葬   圆援匀怎忆灶葬灶运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣哉造贼则葬鄄责则藻糟蚤泽蚤燥灶酝葬糟澡蚤灶蚤灶早栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁悦澡葬灶早泽澡葬源员园园苑猿袁悦澡蚤灶葬  粤遭泽贼则葬糟贼院栽澡藻粤藻则燥泽贼葬贼蚤糟杂责蚤灶凿造藻蚤泽憎蚤凿藻造赠怎泽藻凿蚤灶贼澡藻责则藻糟蚤泽蚤燥灶葬灶凿怎造贼则葬责则藻糟蚤泽蚤燥灶皂葬糟澡蚤灶藻则赠袁葬灶凿贼澡藻皂葬糟澡蚤灶蚤灶早 责则藻糟蚤泽蚤燥灶枣燥则噪藻赠责葬则贼泽澡葬泽葬泽蚤早灶蚤枣蚤糟葬灶贼蚤皂责葬糟贼燥灶贼澡藻责藻则枣燥则皂葬灶糟藻燥枣贼澡藻泽责蚤灶凿造藻援 栽葬噪蚤灶早贼澡藻葬藻则燥泽贼葬贼蚤糟贼澡则怎泽贼 遭藻葬则蚤灶早凿藻泽蚤早灶藻凿遭赠燥怎则泽藻造增藻泽枣燥则葬灶藻曾葬皂责造藻袁贼澡藻藻枣枣藻糟贼憎澡蚤糟澡贼澡藻贼赠责蚤糟葬造 皂葬灶怎枣葬糟贼怎则蚤灶早藻则则燥则泽皂葬赠澡葬增藻燥灶贼澡藻 责藻则枣燥则皂葬灶糟藻泽怎糟澡葬泽造燥葬凿糟葬责葬糟蚤贼赠葬灶凿泽贼蚤枣枣灶藻泽泽燥枣贼澡藻遭藻葬则蚤灶早蚤泽葬灶葬造赠扎藻凿援月葬泽藻凿燥灶贼澡藻则藻泽怎造贼泽燥枣贼澡藻藻则则燥则葬灶葬造赠泽蚤泽袁 贼澡藻凿藻泽蚤早灶责则藻糟蚤泽蚤燥灶 蚤泽凿藻枣蚤灶藻凿援 悦燥灶泽蚤凿藻则蚤灶早 贼澡藻 凿藻枣燥则皂葬贼蚤燥灶 燥枣 贼澡藻 泽贼葬贼蚤糟 责怎泽澡蚤灶早 责造葬贼藻 糟葬怎泽藻凿 遭赠 贼澡藻 增葬糟怎怎皂 泽怎糟贼蚤燥灶憎蚤贼澡贼澡藻则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼燥枣泽怎遭皂蚤糟则燥灶责则藻糟蚤泽蚤燥灶袁葬噪蚤灶凿燥枣藻则则燥则糟燥皂责藻灶泽葬贼蚤燥灶糟怎贼贼蚤灶早贼澡藻燥则赠蚤泽责怎贼枣燥则憎葬则凿