机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究＊.PDF

第28卷第8期增刊 仪器仪 表学 报 VoL28No．8 Chinese ofScientificInstrument 2007年8月 Joumal A嚼2007 机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究* 田孝军，王越超，席 宁，董再励 (中国科学院沈阳自动化研究所机器人学重点实验室沈阳110016) 摘要：利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究，本文针对软朔性材料，建立了AFM探针刻 画时的刻痕尺寸模型，依据该模型及探针的实际受力与位置信息，可得到刻痕的实时位置与尺寸，并借助虚拟现实技术将刻 画过程实时显示在视觉界面上。在上述研究基础上，操作者可在线控制纳米刻画的过程及结果，对聚酯基片的纳米刻画实验 初步验证了上述模型的有效性。 关键词：机器人化纳米刻画；刻痕尺寸模型；实时显示}原子力显微镜 Oil and ofAFMbased real-time robotic Studymodeling cUsplay nano-imprint Tian Yuechao，Xi Zaili Xiaojun，Wang Ning，Dong (Robotics Institute 110016，China) of Sciences，Shenyang Laboratory，ShenyangAutomation，Academyof AFM be basedon usedinfabricationor ofMEMSmask Abstract：Nano-imprint may pattern． probe repair Inthis anano-scotchsizemodelof onwhichthescotch’S research，we material，based propose plastic posi- tionsizecanbeobtained to force．andthen onthevisual accordingprobe’Spositionapplieddisplayed interface to onreal—time of according virtual-reality(VR)technology．Baseddisplaynano-imprintprocess， the can contr01 andeventual on the result．and operatorelementarilyimprintprocess nano-imprintpolycar- bonateverifiestheeffectivenessofthe model．