超薄氩膜热传导的分子动力学模拟-东南大学学报自然科学版.PDF

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第 卷第 期 33 3 东南大学学报(自然科 学版 ) Vol33No3 年 月 2003 5 ( ) May2003 JOURNALOFSOUTHEASTUNIVERSITY NaturalScienceEdition  超薄氩膜热传导的分子动力学模拟 , 1 12 1 杨决宽 陈云飞 颜景平 1 (东南大学机械工程系,南京 210096) 2 (东南大学MEMS教育部重点实验室,南京 210096) 摘要:采用基于经典理论的平衡态分子动力学( )方法,在无量子化修正的条件下,计算了固 EMD 态氩( )在低于其 温度( )下的导热系数 温度在 以上时,模拟结果和实验值吻合 Ar Debye 92K . 20K 较好,说明固态 的量子化效应对其热传导性能影响不大,温度低于 时,由于模拟区域对 Ar 20K 长波声子的裁剪作用使得模拟结果比实验值低 在此基础上,使用经典分子动力学基于三向、两 . 向周期性边界条件的各向异性非平衡态薄膜模型,模拟了超薄 膜在 的导热系数,种模 Ar 40K 2 型给出了具有相同变化趋势的薄膜热传导特性曲线,即:随着膜厚的增加,导热系数增大,且模拟 结果同模拟区域横截面大小无关 在相同条件下,种模型得到的氩膜导热系数相差 左右 . 2 10% . 关键词:导热系数;分子动力学;微尺度热传导;薄膜 中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( ) TK124 A 1001-0505200303030304 Moleculardynamicssimulationofthermalconductivityofargonthinfilm , 1 12 1 YangJuekuan ChenYunfei YanJingping 1 ( , , , ) DepartmentofMechanicalEngineeringSou

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