现代传感器发展方向.pdf

第 23 卷 　第 1 期 电子测量与仪器学报 Vol23 　N o 1 　2009 年 1 月 J O UR N A L O F EL E C TR ON I C M EA S UR EM E N T A N D I N S TR UM E N T ·　　　　1 · 现代传感器发展方向 孙圣和 ( 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系 , 哈尔滨 15000 1) 摘 　要 :传感器是信息系统的源头 ,在某种程度上是决定系统特性和性能指标的关键部件 。本文试图探讨现代传感器技 术发展方向,从概念 、原理 、性能和应用等层面评述了9 种传感器 :光纤传感器 、集成传感器 、M EM S 传感器 、模糊传感器 、智能 传感器 、多功能传感器 、模型传感器 、网络传感器及生物传感器 ,且每类传感器列举了应用实例 。 关键词 :集成传感器 ; M EM S 传感器 ; 智能传感器 ; 多功能传感器 ; 网络传感器 中图分类号 : TP2 12 文献标识码 :A 国家标准学科分类代码 :4604025 Development trend of modern sensor Sun Shenghe ( Harbin In stit ut e of Technology , Harbin 15000 1 , China) Abstract :Sen sor i s t he source of infor mation sy st em an d it i s t he key co mp onent w hich det er mine s t he charact eri stic s and p erfor mance of t he sy st em . Thi s p ap er st udie s t he develop ment t ren d of t he mo der n sen sor ,and nine kinds of sen sor s are reviewed f ro m t he view s of concep t ,p rincip le , p erfor mance and app lica tion . The se sen sor s are fiber sen sor , int egrat ed sen sor , M EM S sen sor , f uzzy sen sor , int elligent sen sor , multif unction sen sor ,mo deling sen sor ,net wor king sen sor ,biolo gical sen sor . The examp le s of each kind of sen sor are li st ed . Key words : int egrat ed sen sor ; M EM S sen sor ; int elligent sen sor ; multif unction sen sor ; net wor king sen sor ) ( 压力 、流量 、密度 、黏度 、质量等 , 光学量 强度 、功 1 　引 言 率 、波长 、频率 、相位 、速度 、脉宽、延迟 、折射