蓝宝石材质对LED加工过程影响.pdf

GT先进技术公司领先研究报告系列 案例研究 摘要 本文展示了GT先进技术公司 （GT ）所进行的一项研究的结 2011年9月27 日发布 果，总结了蓝宝石材料的质量对 重视成品率问题：蓝宝石材质对LED晶片 外延生长（即开即用型）晶片制 造过程的影响。晶片研究是由GT 加工过程的影响之案例研究 发起的一项更大型的材料特征综 合分析研究项目的一部分，该项 目旨在研究蓝宝石材料特性对高 GT先进技术公司有关蓝宝石材料项目的部分特征说明 亮度（HB）LED价值链上的整个制 造过程的影响。 GT公司材料造就LED晶片制造的最高成品率 本研究所介绍的晶片评估得出的 为了进行评估，我们选取了25根两英寸的蓝宝石晶棒。这些 结论是：蓝宝石材料的质量对高 晶棒是从采用不同的蓝宝石晶体生长技术的材料中选取出来 亮度LED衬底的晶片制造成品率 的，这些技术包括GT先进技术公司的ASF热交换法（HEM）长晶 有直接的影响，而采用由GT先进 蓝宝石炉ASF™长出的蓝宝石材料 炉，Kyropoulos （泡生法），以及另一种类似HEM的长晶方法。对 所生产的晶片具有最为稳定的几 于GT ASF技术生成的晶棒，我们基于晶体质量、颜色、气体含量 何形状（平均粗糙度、总厚度变 等属性选取了一组样品组合。本研究使用了13 个GT ASF 样品， 化、弯曲度和翘曲度），在制造 其中5个为非LED级材料。该LED与非LED级ASF材料的比率不是目 过程中废品率最低。晶片废品率 前GT ASF LED 级产品的典型成品率，而是为了确保采用的分析方 与晶片成品率成反比，对晶片制 法能够有效帮助人们理解晶体缺陷对LED制造成品率的影响而特 造盈利性有直接影响，晶片几何 意选择的比率。分析其他材料时，GT使用了市场上有售的、被晶 特征一致则是下游外延生长和器 棒供应商确定为LED级的晶棒。每根蓝宝石晶棒的晶体缺陷情况 件制造的要求。在本研究中，GT 的总体表现名列第一，因此，当 都用GT 的光学均匀性技术（OHT ）进行