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公共安全管理白皮書
科技廠房安全管理(草案)
中華民國九十二年十月三十一日
1
目 錄
壹、背景說明 1
貳、執行狀況 2
參、問題分析 5
肆、政策研擬與建議 6
一、推動安全管理具體措施 6
二、安全管理相關法規 8
伍、增修訂相關標準作業程序 11
一、災害預防 11
二、緊急應變 26
三、事後調查鑑定 42
陸、建置督導檢核機制及程序 46
柒、預期目標及未來願景 47
2
壹、背景說明
半導體、光電工業甚至生物科技業等高科技產業,不但是一項尖端科技的產
業,也是一項需要龐大資金以便能維持其繼續發展的高風險性產業。然因半導體
製造技術愈趨複雜化,所潛在的職業危害與財產損失也愈來愈複雜,舉凡半導體
製程中的磊晶、擴散、離子植入、化學氣相沈積、蝕刻和微影等製程單元所常使
用的化學品,雖然儲存量與使用量皆遠小於化學或石化工業所處理與使用量,但
是由於具有著火性、可燃性、毒性、腐蝕性等本質危害特性,故其廠房中充滿了
火災、爆炸、中毒等潛在危害,製程單元一旦發生洩漏或操作異常,由於廠房中
無塵室的密閉效果,除了導致人員傷亡外,甚至可能造成重大財產損失。例如 1999
年發生的世大積體電路公司火災及 1997 年發生的天下電子公司火災事件即為鮮
明的例證。
TFT-LCD 光電廠之 array 製程需使用多種的有機光阻劑/剝離劑與特殊氣體,
與半導體廠使用物質雷同,不同的是製程機台 Chamber 的大小,半導體廠目前的
最大的晶圓尺寸為 12 吋,其大小遠較於目前 3.5 代 TFT-LCD 廠所需玻璃基板尺
2 2 2
寸為 620×750mm 至 4 代廠的 680×880mm 及 5 代廠的 1100× 1300 mm 基板面
積相差甚遠,故在 TFT-LCD 光電廠單批次所使用的化學原物料自是比半導體廠用
量大,而且隨著玻璃基板的不斷放大,原物料的用量將與日俱增,當然各項危險
物及有害物儲存量與使用量亦增加了安全管理之風險考量。
做好科技廠房安全管理,不僅保障勞工的基本生存權與工作權,保障企業持
續發展與永續經營,更能維護社會安定及人力資源 ,增進經濟發展及國際競爭力。
貳、執行狀況(過去案例分析)
一、世大積體電路股份有限公司火災
事故基本資料 :發生時間:1999/9/22、事故類型:火災
事故資料描述
新竹科學園區世大積體電路公司今天傍晚突然發生大火,火勢是由一處變電站引發
的。由於大火引發的煙霧可能含有毒素,園區緊急疏散所有人員,不過由於火勢實
在太大,除了科學園區本身的消防隊,以及各家廠商的防火小組都投入救援外,還
緊急調來附近鄉鎮的消防車協助救火,幸好暫時將火勢控制在這間變電站裡,並沒
有波及到世大積體電路的生產設備,說起來,這場火災也是地震惹的禍,世大由於
1
要趕交全世界都缺貨的積體電路,在科學園區停電後,自行發電趕工,沒想到因此
引發大火。雖然在各方的搶救下,這場大火並沒有波及公司的生產設備,不過由於
濃煙帶來大量的煙塵,這些煙塵經由空調進入世大公司的無塵生產室,污染了裡面
所有的產品,估計要恢復產能可能還要一兩個禮拜。
世大於昨(22)日下午 4 點 45 分發生火警,起火原因主要是該公司廠務建築中的
一台柴油發電機運轉過熱所造成,並非晶圓待工廠產生火警,因此損失輕微。發電
機起火的原因是由於園區大停電後,機器持續運作所造成,並非是今早由新宇汽電
開始供電所造成的影響。該公司目前有 4 台動態不斷電系統及 2 台發電機,引起這
次火警的其中一台發電機,並
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