公共安全管理白皮书科技厂房安全管理（草案）.pdf

公共安全管理白皮書 科技廠房安全管理（草案） 中華民國九十二年十月三十一日 1 目 錄 壹、背景說明 1 貳、執行狀況 2 參、問題分析 5 肆、政策研擬與建議 6 一、推動安全管理具體措施 6 二、安全管理相關法規 8 伍、增修訂相關標準作業程序 11 一、災害預防 11 二、緊急應變 26 三、事後調查鑑定 42 陸、建置督導檢核機制及程序 46 柒、預期目標及未來願景 47 2 壹、背景說明 半導體、光電工業甚至生物科技業等高科技產業，不但是一項尖端科技的產 業，也是一項需要龐大資金以便能維持其繼續發展的高風險性產業。然因半導體 製造技術愈趨複雜化，所潛在的職業危害與財產損失也愈來愈複雜，舉凡半導體 製程中的磊晶、擴散、離子植入、化學氣相沈積、蝕刻和微影等製程單元所常使 用的化學品，雖然儲存量與使用量皆遠小於化學或石化工業所處理與使用量，但 是由於具有著火性、可燃性、毒性、腐蝕性等本質危害特性，故其廠房中充滿了 火災、爆炸、中毒等潛在危害，製程單元一旦發生洩漏或操作異常，由於廠房中 無塵室的密閉效果，除了導致人員傷亡外，甚至可能造成重大財產損失。例如 1999 年發生的世大積體電路公司火災及 1997 年發生的天下電子公司火災事件即為鮮 明的例證。 TFT-LCD 光電廠之 array 製程需使用多種的有機光阻劑/剝離劑與特殊氣體， 與半導體廠使用物質雷同，不同的是製程機台 Chamber 的大小，半導體廠目前的 最大的晶圓尺寸為 12 吋，其大小遠較於目前 3.5 代 TFT-LCD 廠所需玻璃基板尺 2 2 2 寸為 620×750mm 至 4 代廠的 680×880mm 及 5 代廠的 1100× 1300 mm 基板面 積相差甚遠，故在 TFT-LCD 光電廠單批次所使用的化學原物料自是比半導體廠用 量大，而且隨著玻璃基板的不斷放大，原物料的用量將與日俱增，當然各項危險 物及有害物儲存量與使用量亦增加了安全管理之風險考量。 做好科技廠房安全管理，不僅保障勞工的基本生存權與工作權，保障企業持 續發展與永續經營，更能維護社會安定及人力資源 ，增進經濟發展及國際競爭力。 貳、執行狀況（過去案例分析） 一、世大積體電路股份有限公司火災 事故基本資料 ：發生時間：1999/9/22、事故類型：火災 事故資料描述 新竹科學園區世大積體電路公司今天傍晚突然發生大火，火勢是由一處變電站引發 的。由於大火引發的煙霧可能含有毒素，園區緊急疏散所有人員，不過由於火勢實 在太大，除了科學園區本身的消防隊，以及各家廠商的防火小組都投入救援外，還 緊急調來附近鄉鎮的消防車協助救火，幸好暫時將火勢控制在這間變電站裡，並沒 有波及到世大積體電路的生產設備，說起來，這場火災也是地震惹的禍，世大由於 1 要趕交全世界都缺貨的積體電路，在科學園區停電後，自行發電趕工，沒想到因此 引發大火。雖然在各方的搶救下，這場大火並沒有波及公司的生產設備，不過由於 濃煙帶來大量的煙塵，這些煙塵經由空調進入世大公司的無塵生產室，污染了裡面 所有的產品，估計要恢復產能可能還要一兩個禮拜。 世大於昨（22）日下午 4 點 45 分發生火警，起火原因主要是該公司廠務建築中的 一台柴油發電機運轉過熱所造成，並非晶圓待工廠產生火警，因此損失輕微。發電 機起火的原因是由於園區大停電後，機器持續運作所造成，並非是今早由新宇汽電 開始供電所造成的影響。該公司目前有 4 台動態不斷電系統及 2 台發電機，引起這 次火警的其中一台發電機，並