TFTLCD行业Particle管控和改善方法研究.pdfVIP

ELECTRONICS WORLD 技术 交流 ・ TFT-LCD行业Particle管控和改善方法研究 合肥京东方光电科技有限公司 叶超前 钮曼萍 王祥臻 童 冉 刘俊豪 秦 卫 杜永刚 【摘要】 本文研究了TFT-LCD行业Particle产生的原因并分类，在基于环境、人员、设备、气流的研究上，并通过设备气流优化、人员行为 改善、建立Manifold监控系统，形成一套完整的Particle管控和改善体系。研究表明：在人员标准化作业、气流回环稳定时，通过改善设备内 Particle，可使Particle基数控制在10个以内（Particle大小0.3um/每台设备内）。 【关键词】 LCD；Particle；Manifold监控；环境；气流；设备；人员 Research on Particle control and improvement method in TFT-LCD industry Hefei BOE Optoelectronics Technology Co., Ltd Ye chaoqian Niu Manping Wang Xiangzhen Qin Wei Liu Junhao Abstract ：This paper studies the cause of Particle and TFT - LCD industry classification. Based on the research of environment personnel equipment air, improve through air, staff behavior, Manifold Particle within the control equipment of the monitoring system, established a complete set of Particle control and improve the system of the present stage. The research shows the loopback stable airflow, the norms of behavior, by improving the equipment inside the Particle, can make the base of Particle control within 10 (particle size 0.3um per equipment). Key Words ： LCD, Particle, Manifold system, Environment, Air flow, Equipment, Operator DOI:10.19353/j.cnki.dzsj.2016.14.145 第二类：S级成因多数为生产时异物落在显示区域，影响该区 1 引言 域的液晶偏转形成亮点不良； 第三类：Particle多为大的异物落在显示区域造成，模式分为金 随着CRT技术被TFT-LCD技术完全取代，各行各业对显示器的 属类，有机物类等。 使用范围也不断增大。为了满足各行业对显示器用量日益增加的需 求，我们除了满足客户高响应速度、高分辨率、宽视角的要求，还 4 Particle的源头及产尘原因分析 需要增加自身的产量投入市场，而提升产能的同时，也需要保证产 品的品质以便能提升产品竞争力。在本文中，我们通过对各尺寸产 Particle对生产品质的影响是极大的，而我们的洁净间生产线就 品Particle类不良分析及生产环境的改善，收集了大量的数据，建立