GB/T 1557-2018硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法.pdf

ICS 77 .040 H 17 国； 中华人民共和国国家标准 GB/ T 1557-2018 代替 GB/T 1557 2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption 2018-09-17 发布 2019-06-01 实施 国家市场监督管理总局峪非 中国国家标准化管理委员会 0(.. I (J GB/ T 1557-2018 目u 昌 本标准按照GB/T 1. 1-2009 给出的规则起草。 本标准代替GB/T 1557-2006《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》 ，与 GB/T 1557- 2006 相比，除编辑性修改外主要技术变化如下： 范围中增加了“以低调红外设备测试时，氧含量（原子数）的测试范围从 0. 5 ×1015 cm-3 到硅中 间隙氧的最大同溶度”（见第 1 章）。 一一一在规范性引用文件中增加了 GB/T 4059 、 GB/T 4060 、GB/T 29057、 GB/T 35306（见第 2 章）。 一一在方法提要中增加了低泪红外光谱仪的测试原理，井明确“低祖傅里叶变换红外光谱仪测试硅 单晶中氧含量的具体内容见GB/T 35306”（见第 4 章）。 在干扰因素中增加了多品、测试环境、样品位置、洲民设备对测试结果的影响（见 5. 1 、 5. 8 、 5. 9 、 5.1 0） 。 一一将扣除参比光谱后样品的透射光谱在1 600 cm 1 处的透射率由＂100 %土0. 5 %”改为“100 %土 5 %”（见 5.4, 2006 年版5. 3 ） 。 一一删除了沉淀氧浓度较高时，1 230 cm 1 处的吸收谱带对测试结果的影响（见2006 年，版 5 . 5 ） 。 一一将＂6. 3 千分尺”修改为“6. 3 厚度测量设备”， 修改设备精度大于0. 01 mm（见 6. 3 , 2006 年版 6. 3） 。 一一将“6.4 热电偶－毫伏计”修改为“6.4 温度测量设备 热电偶－毫伏计或其他适用于测试样品 室温度的设备”（见 6.4, 2006 年版 6 . 的。 一一一增加＂6. 5 温度测试设备 湿度计或其他适用于测试环境温度的设备”（见 6. 5） 。 一一将设备检查中的抛光片厚度FR 0.0 65 cm 改为0. 085 cm（见 8. 2. 5 , 2006 年版8. 2. 5） 。 一一－将“表面处理”修改为“在测试之前，应保证样品表面兀氧化物”， 删除了“用 HF 腐蚀去｜结表面 的氧化物”（见 8. 3 , 2006 年版8. 3） 。 一一将“厚度测量”修改为“测量被视rj 样品和参比样品的厚度。 两者中心的厚度差应小于土0. 5 %” （见 8.4 , 2006 年版8. 的。 一一将绘制透射谱罔列为资料性附录（见附录 A, 2006 年版8. 7） 。 一一根据试验情况，修改了精密度（见第 1 0 章， 2006 年版第 11 章）