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ICS 7 1.040.40 G 04 国 中华人民共和国国家标准 GB/T 36504-2018 印刷线路板表面污染物分析 俄歇电子能谱 Guide for the analysis of the printed circuit board surface contamination一 Auger electron spectroscopy 2018-07-13 发布 2019-06-01 实施 国家市场监督管理总局峪非 中国国家标准化管理委员会 0(.. I (J GB/T 36504-2018 目 次 l 引言 ……………………………………………………………………………………… n 1 范围 … 2 规范性引用文件 － 3 术语定义 · 4 方法概述 － 5 样品制备与安装 ……………………………………………………………………………….. … 2 6 分析步骤 · 7 测量报告 · 参考文献……………………………………………………………………………… 7 GB/ T 36504-201 8 参考文 献 [ 1] K ai Y an, Wenqing Yao誓 ， Yuanyuan Zhao , Liping Yang , J iangli Cao , Y ong fa Zhu, Oxygen vacancy induced struct ure change and interface r eaction in H f0 2 fil m s on nat ive Si02/Si sub- strate［口， Applied Surface Science , 20 16, 390 , 260-265. [ 2] H unt C .P. , Seah M .P. , Charact erizat ion of a Hig h R eso lut ion Tan ta lum Pentoxide Sputter Profiling Reference［口， Surface and Inter fa ce A n aly sis , 1983 , 5 , 199- 209 . [ 3] Seah M .P . , M athi eu H. J. , Hunt C .P. , T he Ultra- High R esolution Dept h Profiling R efer - ence M aterial Ta20 5 Anoically Grown on Ta［口， Surface Scienc巳， 1 984 , 139 ,549- 55 7 . [ 4] H. L. K an g, .T. B. Lao , Z.P . Li ，引人Q. Yao 铃 ， C. Liu, .T. Y. 引Tang 铃， Reconstruction of GaA s/ AlAs s叩perlattice mu lt ilayer structure b y q