GB/T 36176-2018真空技术　氦质谱真空检漏方法.pdf

ICS 23 .160 J 78 国 中华人民共和国国家标准 GB/T 36176-2018 真空技术 氨质谱真空检漏方法 Vacuum technology-Vacuum leak testing method by helium mass spectrometer 2018-05-14 发布 2018-12-01 实施 国家市场监督管理总局峪非 中国国家标准化管理委员会 0(.. I (J GB/T 36176-2018 目次 前 皿 6 橱 5 4 漏 般 3 语 － 范 术2 1 规 围 范要 和 性引 … … 用 文 件 … 1 1 1 川 刚 阳 阳 ← 加 罩 吹 法 境 气 备 员 求 ． 定 义 … … … … … … … … … “ … 3 2 1 1 1 9 6 2 2 2 2 2 2 2 佛 仿 6 括 检 检 文5 5 压 氮 喷5