《ESD训练教材》PPT课件.ppt

E S D;目录;序言;ESD 基本原理介绍;ESD 基本原理介绍;二、静电的本质;三、静电起电;四、静电放电;;分离，摩擦等起电的过程：;ESD 基本原理介绍;　　物质产生静电大小排列如下表，其中愈正性与愈负性物质互相摩擦产生之静电愈大。;　　摩擦起电：操作中的动作和肢体运动，由衣服，鞋子与其他物体，地面摩擦，使衣服和鞋子带电，再通过传导和感应，使人体带电。 　　感应起电：当不带电的人体进入带电的电场，静电感应而起电。 　　传导起电：人体直接接触带电体，或与带电体发生静电放电，另人体在静电的微尘粉体和雾状液粒空间活动，使带电微粒附在人体及衣服上产生静电。;ESD 基本原理介绍;六、静电电压?典型静电电压;ESD 基本原理介绍;ESD 基本原理介绍;实际过程中，静电一边产生一边衰减静电的衰减符合指数规律：;　　大体而言只要100V以上的静电压就可以对半导体产生伤害，故 ESD 之防护工作，我们不可不慎。;损伤具有隐蔽性： 　　人体不能直接感知静电除非发生静电放电，但是发生静电放电人体也不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为2~3 KV，所以静电具有隐蔽性。 失效分析的复杂性： 　　静电放电损伤的失效分析工作，因电子产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费钱，要求较高的技术并往往需要使用扫描电镜等高精密仪器。即使如此，有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别，使人误把静电损伤失效当作其他失效。这在对静电放电损害未充分认识之前，常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以静电对电子器件损伤的分析具有复杂性。 ;损伤具有潜在性：有些电子元器件受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给器件造成内伤而形成隐患。因此静电对器件的损伤具有潜在性。 损伤的随机性：电子元件甚么情况下会遭受静电破坏呢？可以这么说，从一个元件产生以后，一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具有随机动性性。其损坏也具有随机动性性。;电子产品静电损伤的形态;B.潜在性缓慢失效 带电体电位或能量较低，一次放电没有完全损伤失效，使器件内部轻度损伤，但有累计效应，使器件性能变坏，可能突然失效，难以检测和筛选，造成产品质量发生信赖性问题。;静电的累积破坏?负伤而行 　 负伤而行（Walking Wounded）––– 许多实验证实静电能使半导体负伤，但不致立即完全破坏其功能，而且有多数这些『负伤而行』的元件都能通过测试直到这些元件送到客户之后，随时会从『负伤而行』变成完全失效。;◆ 静电的累积破坏 – 负伤而行 ?下面是一ESD累积破坏的试验：(应用HBM方式) 试验条件： 试验结果： 材料：54s163 测试前 I=2.883μA PASS 人体电容：100pf 第一次 I=2.883μA PASS 每次放电：50V　 第二次 I=2.890μA PASS 放电次数：5次 第三次 I=2.890μA PASS 测试点：Vin=Pin2 (A) 第四次 I=1.872mA FAIL GND=Pin8 (B) 第五次 I=2.147mA FAIL;ESD破坏分析;ESD破坏案例参考;静电防护;静电防护的基本原则(治标方法);常用静电防护材料及使用方法;抗静电材料(袋、管、管塞、盒等)：在材料上涂布抗静电液，使材料不会产生静电荷，或仅产生微量的静电荷(通常在100V以下)。此类材料表面电阻要求在1012Ω/square以下，静电消散时间2sec。使用此材料应： 此材料???能防止本身产生静电，而却无法防止静电场破坏。 表面涂层必须考虑其有效期。 一般工业界会将此类产品制成粉红色。;静电遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等) ：此种材料一般含有二或三层，上下(或外)层是抗张力强的抗静电化学合成物质(R1012Ω/square，静电消散时间2sec) ，中间(或内)层是一层薄薄的金属箔(R 103 Ω/square)。使用时需注意： 避免使用尖锐物品刮坏金属层。 封闭的导电袋或容器才有完全之保护。;防静电工作桌;静电防护标示;AUT对ESD之要求;AUT对ESD之要求