- 1、本文档共26页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
等离子体表面处理技术讲座 -------奥坤鑫科技有限公司 主讲:刘善双 1、什么是等离子体及怎样建立等离子体; 等离子体 (中文) = PLASMA (英文) = 电浆 (台湾) 等离子体的发现: 1879、英国物理学家、 William Crookes----物质第四状态 1929、美国化学物理学家、 Langmuir----等离子体 等离子体定义: 部分或是全部电离的气体; 主要包括:电子、离子、中性基团、分子、光子 固体 ? 液体 ? 气体 ? 等离子体 能量 能量 能量 等离子体的形成 物质的四种状态 什么是等离子体 等离子体成分,对外呈现电中性 物质的第四种形态 低温等离子体的建立系统(PCB行业);水平式和垂直式 等离子体工业生产模型 产生低温等离子体系统 等离子体主要作用:清洁、蚀刻和改性 清洁:去除表面有机物污染和氧化物 蚀刻:化学反应性蚀刻、物理蚀刻 改性:粗化、交联 2、等离子体在现代工业中的主要用途 等离子体的主要用途: 半导体IC行业 蚀刻小孔,精细线路的加工 IC芯片表面清洗 绑定打线 沉积薄膜 纺织行业 纺织纤维表面改性; 生物和医疗行业 半透膜表面亲水的改性; 医疗器械的清洁; 镀膜 物理气相沉积(PVD)镀膜; 化学气相沉积(CVD)镀膜; 磁控溅射镀膜; PCB制作 清洗作用: 改善可焊性; 蚀刻作用:去钻污、去除电镀夹膜; 表面改性:增加亲水性,增强结合力; 等离子体技术在PCB行业的应用; 清洗作用(有机物CF4+O2,无机物Ar2+O2) BGA焊盘的清洗;化镍浸金前处理; 蚀刻作用(有机物CF4+O2) 高多层背板去钻污;多层软板;刚挠板去钻污处理;去除夹膜; 表面改性作用( CF4+O2 N2+H2) PTFE板材沉铜前处理、阻焊前处理;层压前处理粗化; 3、H2/N2等离子体对以PTFE基高频板改性的研究; 前言 通讯高必威体育官网网址性 高频通信 高速传输 低介电常数 低介质损耗因素 耐高温 聚苯醚 、氰酸脂 聚丁二烯 最常用:PTFE PTFE聚四氟乙烯 物理特性:介电常数低、介电强度高 、介质损耗因素小、半阻燃性、耐热性好; 化学特性:强的耐化学腐蚀性、 PTFE难以被水润湿的原因 C C F F F F n 1.表面能低(31∽34达因/厘米),接触角大; 2.结晶度大,化学稳定性好; 3.PTFE分子结构高度对称,属非极性分子; 提高PTFE表面的润湿性能常用的表面改性方法: 1、钠-萘络合物化学处理 优点:具有较好的表面改性效果; 缺点:属湿式化学处理,对环境和人身危害比较大 2、低温等离子处理 优点:属干式处理,省能源,无公害,时间短,效率高;材料表面处理的均匀性好;材料表面能改善的同时,基体性能不受影响; 缺点:设备一次性投入较高 3.1 实验条件和实验检测手段 实验用高频板材:Taconic RF-35(蚀刻表面铜,刷板两次) 实验所用气体:H2、N2 实验设备:OKSUN-PM12A (功率5Kw、频率:40KHz) 实验条件 实验检测手段 SEM(扫描电子显微镜) XPS(X射线光电子能谱) 剥离强度测试仪 3.2 实验数据的分析 3.2.1 表面显微结构分析 (a) 未进行处理 (b) 处理10min 不同时间的等离子体处理对PTFE板材表面粗糙度的影响 (c) 处理30min (a) 2Kw (c) 4Kw 不同功率的等离子体处理对PTFE板材表面粗糙度的影响 (b) 3Kw 结论: 1、等离子体处理时间越长,表面的突起物会增多,比表面积会增大。 2、而随着功率的增大,表面突起物增加和比表面积增大。 原因: 其一:带电离子 溅射侵蚀。 其二:化学活性基团 化学侵蚀。 3.2.2 XPS表面分析 项目 C F O N -C-N N-C=O -NH -NO 改性前 34.38 65.07 0.55 0.23 0 0 0 0 改性后 39.47 54.06 5.41 1.06 3.66 2 0.95 0.21 等离子体处理前后PTFE基材表面元素及化学键组成 At. % 等离子体处理前后PTFE基材的XPS光谱 结论: 1、等离子体处理后材料表面突起物增多,比表面积增大;(SEM) 2、等离子处理后材料表面含有含氮含氧等亲水基团;(XPS) 1、表面粗糙、增大接触面积; 2、表面含亲水基团增大亲水性 表面改性 PTFE分子结构改性 亲水基团改性 C C F n F F NH2 3.2.3具体几组表面改性实验 处理前的水滴 处理
您可能关注的文档
- 创全国农村中医工作先进县培训课程(1).ppt
- 创伤的院前急救.ppt
- 创伤院前急救.ppt
- 创伤重症护理.ppt
- 创卫健康教育课件(1).ppt
- 创新设计全国通用2018版高考数学一轮复习第三章导数及其应用第1讲导数的概念及运算课件理新人教A版(1).ppt
- 创学习型团组织做学习型团干部培训课件(1).ppt
- 从计划经济到市场经济[课件2]--市观摩课课件(1).ppt
- 从教研活动到校本研修(1).ppt
- 答辩注意事项.ppt
- 第十一章 电流和电路专题特训二 实物图与电路图的互画 教学设计 2024-2025学年鲁科版物理九年级上册.docx
- 人教版七年级上册信息技术6.3加工音频素材 教学设计.docx
- 5.1自然地理环境的整体性 说课教案 (1).docx
- 4.1 夯实法治基础 教学设计-2023-2024学年统编版九年级道德与法治上册.docx
- 3.1 光的色彩 颜色 电子教案 2023-2024学年苏科版为了八年级上学期.docx
- 小学体育与健康 四年级下册健康教育 教案.docx
- 2024-2025学年初中数学九年级下册北京课改版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中科学七年级下册浙教版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学信息技术(信息科技)六年级下册浙摄影版(2013)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学美术二年级下册人美版(常锐伦、欧京海)教学设计合集.docx
最近下载
- 江苏省扬州市扬州中学2023-2024学年高一上学期12月月考数学试题(含答案解析).docx
- 2024年国家电网招聘之财务会计类题库附参考答案(轻巧夺冠).docx
- 恶性肿瘤放疗患者营养治疗专家共识解读PPT课件【31页】.pptx VIP
- 江苏省海门市高一上学期期末考试(数学).doc
- PowerVision臻迪无人机PowerEgg用户手册.pdf
- 蓝海华腾变频器说明书.pdf
- 幼儿园小班家访记录表.pdf
- 江苏省扬州市邗江中学2019-2020学年高一上学期期中数学试题(解析版).pdf VIP
- 第一讲数字集成电路质量评价.ppt
- 辽宁省沈阳市浑南区2022-2023学年九年级上学期10月月考物理试题(含答案).pdf VIP
文档评论(0)