TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介课程实例.pptVIP

LOGO TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 Contents 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 2 减薄的作用 1.减少占有的空间 2.使Glass达到一定的柔性 3 减薄工艺简介 用酸碱对Glass进行刻蚀，从而达到减薄的目的。 防止酸碱溶液从边缘处进入液晶盒内，破坏封框胶，进入Cell内部，影响产品性能。 获得光亮、平整的表面。 封胶 减薄 研磨 4 封胶 封胶工艺 防止强酸破坏Cell封框胶以及进入Cell内部 1. 加盖遮光垫 2.涂胶 3.擦胶 4. UV固化 UV胶 破坏TFT结构 一般在这之前还会进行检查。 涂胶后静置1min。 清除多的UV胶。 UV固化后检查 5 封胶 UV固化 UV灯 GLS 边框胶 涂胶后检查 涂胶 加盖遮光垫 6 原理及方式 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 原理 1 2 3 4 减薄原理及方式 6HF+SiO2-H2SiF6+2H2O 液体+固体（玻璃）-液体 7 单片直立喷洒 瀑布流 多片直立浸泡 优点： 1.可以同时间处理多片玻璃。 缺点： 1.装置大型。 2.外围产生沉淀物,白色粉沫，容易粘附在Glass上。 优点： 1.可以满足两面不同蚀刻要求。多片缺点： 1.蚀刻表面易产生凹点。 优点： 1.表面最光滑，甚至可以不用抛光 三种方式优缺点 8 10 减薄设备 其余组件： 供酸装置 HF酸浓度计 温度控制器 洗气装置 Loader单元 预清洗单元 蚀刻单元 清洗单元 干燥单元 Unloader单元 11 减薄工艺参数 1.反应时间与玻璃质量损失的关系 图1.反应时间与玻璃质量损失之间的关系 12 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 13 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。 14 减薄清洗单元（后） DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min a. DI水 b. 常温 C. 5min a. DI水 b. 常温 C. 5min 清洗 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject Item 自动研磨 手动研磨 Picture 适应产品 无破损产品 所有产品 可修复不良 不良率高发，严重不良 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光，效率高 针对单点不良修复，效率低 研磨 15 16 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 17 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净 1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式） 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 18 Slimming后划伤 Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 Human eye invisible Slimming LOGO * *