等离子体表面技术及应用(1).ppt

产品介绍;等离子表面技术原理及应用 等离子清洗设备特点和优势 我公司代理等离子产品介绍 ;等离子表面技术原理;等离子表面技术原理;等离子表面技术原理;等离子表面技术原理;等离子表面技术原理;等离子表面技术原理;等离子表面技术原理;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术的应用;等离子表面技术原理;等离子清洗设备特点和优势;ICP的主要优点为： （1）等离子体密???高、解离率高，能够在相当大的压力范围上保持高密度等离子体。 （2）平板式ICP可大面积操作。 （3）ICP等离子体中的电子温度低、离子动能低、等离子体电位低。 （4）等离子体密度及离子转击基板的动能可分开控制。 （5）设备简单。 但其唯一的缺点为线圈电极可能被离子打出而污染镀膜品质，一般改善的方法有： （1）将线圈电极的一端接地以降低线圈电极之电位，即减少电容效应。 （2）并联一直流电压以防止离子转击。 （3）可使用法拉第屏蔽（Faradays shielding）以消除电容效应。 （4）将线圈以介电材料被覆（coating）以降低等离子体电位。;2） 阴极等离子体产生法（HCF） 在一金属管装物，可为圆形、方形、椭圆形或其他形状，在外加一高调波在此管状物上，会产生一个自我偏压，故造成整支管子都是带一偏压，这使得电子无论是往哪一方向作运动，都会被排斥，所以，电子在管内会作来回振荡的运动，固电子在碰撞到电极板前，能走更长的距离，这就是表示电子会有更多的机会或几率与中性气体原子产生碰撞，从而产生等离子体。;等离子清洗设备特点和优势;等离子清洗设备特点和优势;等离子清洗设备特点和优势;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;技术参数 外形尺寸: 8.5H x 10W x 8D（215mm x 254mm x 203mm） 输入电源: 220 V／50Hz 输入功率: 100W 重量: 6.0kg 常用工作气体: 空气、氩气、氮气或混合气体等 功率档: 低档--680V DC、10mA DC、6.8W 中档--700V DC、15mA DC、10.5W 高档--720V DC、25mA DC、18W 基本配置: 直径3英寸(76mm)，长6.5英寸(165mm)的耐热玻璃舱体可拆卸舱盖 最大为18W的RF线圈1/8英寸NPT针阀 1/8英寸NPT三通阀 必配件： 真空泵 选配件： 气体计量混合器PlasmaFloTM 石英等离子清洗舱 石英托盘（用于放置样品）;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;技术参数 舱体尺寸： 耐高温玻璃舱体，直径100mm，深210mm，容量约1.7升 外形尺寸： 400mmW×410mmD×220mmH 结构特点： 台式设计，结构紧凑精致， 半自动舱门，牢固可靠，可视窗可观察处理过程 设备辐射小，安全环保 射频发射器：24khz，功率80W,10-100% 10级可调;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子???品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;我公司代理等离子产品介绍;总结