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西华大学学位论文独创性声明
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若有不实之处,本人愿意承担相关法律责任。
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西华
西华大学硕士学位论文
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摘 要
TFT(Thin Film Transistor 薄膜电晶体)-LCD(液晶显示器)广泛应用在笔 记本电脑、摄像机、手机、相机监视器等方面,市场巨大。在 TFT-LCD 生产的很多 环节需要用到大量的超纯水,其水质的好坏直接关系到 TFT-LCD 的生产质量,因此对 超纯水处理控制系统的稳定性、高效性和可靠性提出了较高的要求。
本文在分析超纯水的整体工艺流程的基础上,针对超纯水控制系统的需求特点,设 计一整套基于西门子 PLC 的超纯水处理控制系统,完成了系统设备层、控制层、系统网 络通信的全部软硬件设计。底层设备以分布式 I/O 为纽带进行输入信号的采集及输出驱 动控制,采用 PROFIBUS 现场总线进行信号的高可靠性传输;由于所有现场信号被传输 到 PLC 中集中进行数据处理控制,因此选用双机热备冗余控制方式,实现了基于 S7-400H PLC 的冗余系统;采用 InTouch 组态软件技术实现了超纯水系统的上位监控, 并通过 OPC 方式,将 InTouch 组态软件中的数据与基于 WinCC 上位组态软件进行交互, 实现了与其它自动化系统方的通信。
该系统通过集成先进 PLC 冗余技术、网络技术、现场总线、组态软件等技术,满足 超纯水自动化系统对稳定性、可靠性、便于监控性等的全面系统控制要求。自投入运行 以来,工作稳定,在提升了超纯水自动化程度的同时,加强了与全厂自动化系统的信息 交互,保证了系统的高效性、稳定性和可靠性,实现了完全符合工艺要求的超纯水制备, 为企业带来了良好的经济效益。
关键词:超纯水;InTouch;PLC;PROFIBUS;冗余;OPC
I
基于
基于西门子 PLC 的超纯水控制系统设计
Abstract
TFT (Thin Film Transistor)-LCD (liquid crystal display) is widely used in laptop, camcorders, mobile phones, digital cameras, monitors, etc. In the TFT-LCD production chain, many technological process need to use ultra-pure water ;with great demand for ultra-pure water, ultra-pure water quality is directly related to the quality of TFT-LCD, ultrapure water control system demand high stability, efficiency and reliability.
This paper analyzes the overall process of ultra-pure water. Aim at the functions and requirements of the automation production system; Siemens PLC technology is adopted to improve integration of the system. The article has design software and hardware of the device layer, control layer, network communication. Underlying device use distributed I/O link for the collection of inp
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