MEMS工艺-表面微机械加工技术.pptxVIP

下载本文档

54
0
约小于1千字
约 24页
2019-03-26 发布于浙江
举报
版权申诉

MEMS工艺-表面微机械加工技术.pptx

1、本文档共24页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

汇报人：胡文艳时间：2017.6.10;01;微机械加工;;表面微机械加工和体微机械加工工艺特点：;二、基本工艺流程;举例：方案一 —— 微型马达基本制造工艺流程;方案一带来的问题：;方案二 —— 微型马达制造工艺流程改进 ;方案三 —— 微型马达制造工艺流程改进 ;工艺材料选择标准： ;上述原则适用于LPCVD材料，而在使用其他材料时，还要考虑一些其他因素：刻蚀速率和刻蚀选择性。可达到的薄膜厚度。材料的沉积温度。结构层本征内应力。表面光滑度。材料和工艺的成本。 ;理想情况下，较高的牺牲层刻蚀速率rsa意味着完成牺牲层刻蚀过程的时间减少。如果两种备选方案具有相同的刻蚀选择性，那么具有较高牺牲层刻蚀速率rsa的方案更受青睐。如果其中的一种方案对牺牲层的刻蚀速率较慢但是比另一种方案的刻蚀选择性高，那么在选择方案时应考虑其他因素。;实际中广泛应用到的结构层和牺牲层材料的淀积方法是化学气相沉积（CVD），根据提供能量不同有如下分类：;在MEMS中应用的LPCVD材料主要有三种：多晶硅、氮化硅和二氧化硅：;其他表面微机械加工材料与工艺：;四、加速牺牲层刻蚀的方法 ——钻蚀释放速度的技术 ;方法二：改变刻蚀方法和刻蚀材料;五、粘附机制和抗粘附的方法 ——与烘干工艺相关的失效以及改进方法;悬浮结构与衬底的接触会导致不可逆的损坏。一旦接触，强大的分子力（例如范德华力）会加强悬浮结构和衬底间的吸引。另外，由于存在新的反应副产品，很可能会产生固体桥接。;方法一：超临界流体烘干可以防止液体与空气界面处出现反向表面张力，超临界相出现在高温高压的环境下。下图为超临界相技术的典型烘干工艺。;方法二：采用疏水涂层 ;01;