基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究【毕业论文】.doc

- PAGE I - 本科毕业设计 （20 届） 基于热蒸发方法的硫系薄膜制备与光学性能研究 所在学院 专业班级 电子信息科学与技术 学生姓名 学号 指导教师 职称 完成日期 年 月 PAGE I 摘　要 【摘要】硫系薄膜是硫系玻璃材料光学器件向集成化、小型化发展的一个重要研究方向。本文介绍了硫系薄膜的发展历史、应用领域以及常见的制备方法，并选择热蒸发方法制备了Ge-Sb-Se组分的硫系薄膜。对所制得薄膜进行结构和性能测试，包括：薄膜的透过光谱（分光光度计），薄膜组分（xps），薄膜结构（拉曼光谱）和薄膜厚度（台阶仪）等。结果表明本文中所采用的热蒸发工艺制备的薄膜组分与靶材略有偏差，但是薄膜具有良好的物理结构和光学特性，在集成光学器件方面很高的应用潜力。 【关键词】硫系玻璃；硫系薄膜；热蒸发法；光学特性. Abstract 【ABSTRACT】 Chalcogenide thin films is an important research field of optical devices with integration and miniaturization. This paper introduces the history, application fields and several fabrication mathods of chalcogenide thin films, and thermal evaporation method is chosen to fabricate Ge-Sb-Se films. The structures and properties of the films are tested, including transmission spectra, Raman spectra, component and thickness of films. The results show that the component of the films is similar to the target glass, and the films has excellent physical structure and optical properties, which has great potential for application in integrated optical devices. 【KEYWORDS】Chalcogenide glass, Chalcogenide thin films, Thermal evaporation, Optical properties. 目　录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc293671935 摘　要 PAGEREF _Toc293671935 \h II HYPERLINK \l _Toc293671936 Abstract PAGEREF _Toc293671936 \h III HYPERLINK \l _Toc293671937 目　录 PAGEREF _Toc293671937 \h IV HYPERLINK \l _Toc293671938 1 绪论 PAGEREF _Toc293671938 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293671939 1.1 硫系薄膜简介 PAGEREF _Toc293671939 \h 1 HYPERLINK \l _Toc293671940 1.2 硫系薄膜的性质 PAGEREF _Toc293671940 \h 2 HYPERLINK \l _Toc293671941 1.2.1 三阶非线性 PAGEREF _Toc293671941 \h 2 HYPERLINK \l _Toc293671942 1.2.2 光敏性 PAGEREF _Toc293671942 \h 3 HYPERLINK \l _Toc293671943 1.2.3 能量带隙 PAGEREF _Toc293671943 \h 5 HYPERLINK \l _Toc293671944 1.3 硫系薄膜的应用 PAGEREF _Toc293671944 \h 6 HYPERLINK \l _Toc293671945 1.3.1 存储 PAGEREF _Toc293671945 \h 6 HYPERLINK