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奈米非晶質薄膜或多層膜 (Nanocrystalline or amorphous multiplayered metallic glass thin films)
Achievement in preparation of nanocrystalline (2-10 nm) or amorphous multiplayered metallic glass thin films, through post-annealing of multilayered elemental films, co-sputtering of two or three targets, or direct sputtering of pre-cast alloy target. The nanocrystalline (2-10 nm) or amorphous thin films have been demonstrated to be an excellent surface coating for polymers or light metals.
成果技術簡介
在非晶質合金之領域中，由於物理氣相沉積具有一高之降溫速率及相對低溫之環境，因此非常適合用於合成非晶質合金薄膜。利用鎂銅、鋯銅、鋯鈦共濺鍍或多層膜在經由熱處理之製程，能夠合成部分或完全非晶質合金薄膜。由於零缺陷之非晶質結構，因此非晶質合金薄膜展現出高的機械性質。利用此特點，能夠強化基材之抗磨耗特性。
? ? ?? 成果可用範圍/領域 限30字內 (*)
高強度微機電領域元件、表面改質、微成型技術、生醫抗菌領域。
? ? ?? 成果特色/優點 限50字內(*)
低溫，微米尺度、高效率、成本低。
? ? ?? 成果推廣及應用價值 限250字內(*)
利用奈米非晶質薄膜或多層膜之優異的機械性質，並配合聚焦離子束或微成型製程，能夠製備其微米尺度之元件。再者，在微米尺度下，非晶質合金之零缺陷之特性，能夠利用奈米壓印技術及黃光製程，能夠製備如半導體產業用之光柵、電磁式微致動器等元件。此外，也能利用此技術應用在生醫生化領域，利用非晶質合金之零缺陷特性，能夠降低病菌、病毒之附著力。在民生工業上，手機外殼利用非晶質薄膜做表面改質，能夠強化抗磨耗特性，並美化其外觀。由此可知，在各個領域中非晶質合金薄膜具有潛在應用價值。
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