硅片传输机械手控制策略的研究-检测技术与自动化装置专业论文.docxVIP

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2019-04-05 发布于上海
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贵州大学贵州大学 2015 届硕士学位论文万方数据万方数据目录 HYPERLINK \l _bookmark0 摘要 iv HYPERLINK \l _bookmark1 Abstract v HYPERLINK \l _bookmark2 第一章绪论 .................................................................................................................... 1 HYPERLINK \l _bookmark3 1.1 课题研究背景及意义 ......................................................................................... 1 HYPERLINK \l _bookmark4 1.2 国内外研究发展现状 ........................................................................................ 1 HYPERLINK \l _bookmark5 1.2.1 国外研究发展现状.................................................................................. 1 HYPERLINK \l _bookmark6 1.2.2 国内研究发现现状................................................................................. 2 HYPERLINK \l _bookmark7 1.3 本文主要研究内容 ............................................................................................ 2 HYPERLINK \l _bookmark8 第二章硅片传输机械手运动学建模与永磁交流同步电机模型分析 ...................... 3 HYPERLINK \l _bookmark9 2.1 引言 ..................................................................................................................... 3 HYPERLINK \l _bookmark10 2.2 硅片传输机械手构型的选择 ........................................................................... 3 HYPERLINK \l _bookmark11 2.2 R-θ 伸缩运动模型的建立 3 HYPERLINK \l _bookmark12 2.2.1 运动学方程 .............................................................................................. 5 HYPERLINK \l _bookmark13 2.3 交流永磁同步电机及其矢量控制模型 ............................................................ 5 HYPERLINK \l _bookmark14 2.3.1 交流永磁同步电机的数学模型 ............................................................. 5 HYPERLINK \l _bookmark15 2.3.2 矢量控制策略 .......................................................................................... 7 HYPERLINK \l _bookmark16 2.4 本章小结 ..................................................................................................10 HYPERLINK \l _bookmark17 第三章硅片传输机械手控制策略研究与仿真分析 ........................